Bileog graifíte atá brataithe le carbide tantalamis ábhar graifíte é le sraith tanaí dechomhdhúile tantalamar dhromchla an tsubstráit. De ghnáth cruthaítear an tsraith tanaí de chomhdhúile tantalam ar dhromchla an tsubstráit graifíte trí theicnící mar thaisceadh gaile fisiceach (PVD) nó sil-leagan ceimiceach gaile (CVD). Tá airíonna den scoth ag an sciath seo mar chruas ard, friotaíocht caitheamh den scoth, friotaíocht creimeadh agus cobhsaíocht teocht ard.
Soláthraíonn Semicera bratuithe cairbíde tantalam speisialaithe (TaC) do chomhpháirteanna agus d'iompróirí éagsúla.Cuireann an próiseas brataithe tosaigh Semicera ar chumas bratuithe chomhdhúile tantalam (TaC) íonacht ard, cobhsaíocht ardteochta agus lamháltas ceimiceach ard a bhaint amach, chun cáilíocht táirgí criostail SIC/GAN agus sraitheanna EPI a fheabhsú (Suceptor TaC brataithe le graifít), agus saol na bpríomhchodanna imoibreora a leathnú. Is é an úsáid a bhaint as sciath tantalum carbide TaC ná an fhadhb imeall a réiteach agus cáilíocht an fháis criostail a fheabhsú, agus tá Semicera tar éis an teicneolaíocht sciath tantalum carbide (CVD) a réiteach, ag teacht ar an ardleibhéal idirnáisiúnta.
Tar éis blianta forbartha, tá Semicera tar éis dul i ngleic le teicneolaíocht naCVD TaCle comhiarrachtaí na Roinne T&F. Is furasta lochtanna a tharlaíonn i bpróiseas fáis na sliseog SiC, ach tar éis iad a úsáidTaC, tá an difríocht suntasach. Anseo thíos tá comparáid idir sliseog le agus gan TaC, chomh maith le páirteanna Simicera le haghaidh fás criostail aonair.
Áirítear ar na príomhbhuntáistí a bhaineann le bileog graifíte brataithe tantalam:
1. Friotaíocht teocht ard: Tá pointe leá ard ag carbide Tantalum agus cobhsaíocht ardteochta den scoth, rud a fhágann go bhfuil an leathán graifít brataithe oiriúnach le húsáid i dtimpeallachtaí teocht ard.
2. Friotaíocht creimeadh: Is féidir le sciath chomhdhúile Tantalum seasamh in aghaidh creimeadh go leor substaintí creimneach ceimiceacha agus saol seirbhíse an ábhair a leathnú.
3. Cruas ard: Soláthraíonn cruas ard an chiseal tanaí chomhdhúile tantalum friotaíocht caitheamh maith agus tá sé oiriúnach d'iarratais a dteastaíonn friotaíocht ardchaitheamh orthu.
4. Cobhsaíocht cheimiceach: Tá cobhsaíocht den scoth ag sciath chomhdhúile Tantalum maidir le creimeadh ceimiceach agus tá sé oiriúnach le húsáid i roinnt meáin chreimneach.
le agus gan TaC
Tar éis TaC a úsáid (ar dheis)
Thairis sin, Semicera arTáirgí atá brataithe le TaCsaol seirbhíse níos faide a thaispeáint agus friotaíocht ardteochta níos mó i gcomparáid leCótaí SiC.Tá sé léirithe ag tomhais saotharlainne go bhfuil árBratuithe TaCis féidir leo feidhmiú go comhsheasmhach ag teochtaí suas le 2300 céim Celsius ar feadh tréimhsí fada. Seo thíos roinnt samplaí dár samplaí:
