Cumhdach CVD SiC&TaC

Cumhdach CVD SiC

Eipiteacs chomhdhúile sileacain (SiC).

Cuirtear an tráidire epitaxial, a choinníonn an tsubstráit SiC chun an slice epitaxial SiC a fhás, sa seomra imoibrithe agus déanann sé teagmháil dhíreach leis an sliseog.

未标题-1 (2)
Bileog mhonacrystalline-sileacain-epitaxial

Is iompróir é an chuid uachtarach leath-ghealach le haghaidh gabhálais eile den seomra imoibrithe de threalamh epitaxy Sic, cé go bhfuil an chuid leath-ghealach íochtair ceangailte leis an bhfeadán Grianchloch, ag tabhairt isteach an gháis chun an bonn súitheora a thiomáint chun rothlú.tá siad rialaithe teochta agus suiteáilte sa seomra imoibrithe gan teagmháil dhíreach leis an wafer.

2ad467ac

Si epitaxy

微信截图_20240226144819-1

Cuirtear an tráidire, a choinníonn an tsubstráit Si chun an slice epitaxial Si a fhás, sa seomra imoibrithe agus déanann sé teagmháil dhíreach leis an sliseog.

48b8fe3cb316186f7f1ef17c0b52be0b42c0add8

Tá an fáinne réamhthéamh suite ar fháinne seachtrach an tráidire tsubstráit Si epitaxial agus úsáidtear é le haghaidh calabrú agus téimh.Cuirtear sa seomra imoibrithe é agus ní théann sé i dteagmháil go díreach leis an wafer.

微信截图_20240226152511

Suceptor epitaxial, a choinníonn an tsubstráit Si chun slisne epitaxial Si a fhás, a chuirtear sa seomra imoibrithe agus a dhéanann teagmháil dhíreach leis an sliseog.

Suí Bairille le haghaidh Epitaxy Chéim Leachtach(1)

Is príomhchodanna é bairille epitaxial a úsáidtear i bpróisis déantúsaíochta leathsheoltóra éagsúla, a úsáidtear go ginearálta i dtrealamh MOCVD, le cobhsaíocht theirmeach den scoth, friotaíocht ceimiceach agus friotaíocht caitheamh, an-oiriúnach le húsáid i bpróisis ardteochta.Déanann sé teagmháil leis na sliseoga.

微信截图_20240226160015(1)

重结晶碳化硅物理特性

Airíonna fisiceacha Carbide Sileacain Athchriostalaithe

性质 / Maoin 典型数值 / Luach Tipiciúil
Teocht / Teocht oibre (°C) 1600 ° C (le ocsaigin), 1700 ° C (timpeallacht laghdaithe)
Ábhar SiC 含量 / SiC > 99.96%
自由 Si 含量 / Ábhar Si saor in aisce <0.1%
体积密度 / Bulc-dlús 2.60-2.70 g / cm3
气孔率 / porosity dealraitheach < 16%
抗压强度 / Neart comhbhrúite > 600 MPa
常温抗弯强度 / Neart lúbthachta fuar 80-90 MPa (20°C)
高温抗弯强度 Neart lúbthachta te 90-100 MPa (1400°C)
热膨胀系数 / Leathnú teirmeach @ 1500°C 4. 70 10-6/°C
导热系数 / Seoltacht theirmeach @ 1200°C 23 W/m•K
杨氏模量 / Modal leaisteacha 240 GPa
抗热震性 / Friotaíocht turrainge teirmeach Thar a bheith go maith

烧结碳化硅物理特性

Airíonna fisiceacha Carbide Sileacain Sintered

性质 / Maoin 典型数值 / Luach Tipiciúil
化学成分 / Comhdhéanamh Ceimiceach SiC>95%, Si<5%
体积密度 / Bulc Dlús > 3.07 g / cm³
显气孔率 / porosity dealraitheach <0.1%
常温抗弯强度 / Modal réabtha ag 20 ℃ 270 MPa
高温抗弯强度 / Modal réabtha ag 1200 ℃ 290 MPa
硬度 / Cruas ag 20 ℃ 2400 Kg/mm²
断裂韧性 / Toughness briste ag 20% 3.3 MPa · m1/2
导热系数 / Seoltacht Theirmeach ag 1200 ℃ 45 w/m .K
热膨胀系数 / Leathnú teirmeach ag 20-1200 ℃ 4.5 1 ×10 -6/ ℃
最高工作温度 / Max.teocht oibre 1400 ℃
热震稳定性 / Friotaíocht turrainge teirmeach ag 1200 ℃ Maith

CVD SiC 薄膜基本物理性能

Airíonna fisiceacha bunúsacha na scannáin CVD SiC

性质 / Maoin 典型数值 / Luach Tipiciúil
晶体结构 / Struchtúr Criostail FCC β chéim polycrystalline, go príomha (111) atá dírithe
密度 / Dlús 3.21 g / cm³
硬度 / Cruas 2500 维氏硬度(500g ualach)
晶粒大小 / Grán SiZe 2~10μm
纯度 / Íonacht Cheimiceach 99.99995%
热容 / Cumas Teasa 640 J·kg-1·K-1
升华温度 / Teocht sublimation 2700 ℃
抗弯强度 / Neart Flexural 415 MPa RT 4-phointe
杨氏模量 / Young's Modulus Bend 430 Gpa 4pt, 1300 ℃
导热系数 / Seoltacht Theirmeach 300W·m-1·K-1
热膨胀系数 / Leathnú Teirmeach(CTE) 4.5×10-6 K -1

Cumhdach Carbóin Pyrolytic

Príomhghnéithe

Tá an dromchla dlúth agus saor ó phiocháin.

Ard-íonacht, ábhar neamhíonachta iomlán <20ppm, aerdhíonacht maith.

Friotaíocht teocht ard, méaduithe neart le méadú ar theocht úsáide, ag teacht ar an luach is airde ag 2750 ℃, sublimation ag 3600 ℃.

Modal leaisteacha íseal, seoltacht teirmeach ard, comhéifeacht leathnú teirmeach íseal, agus friotaíocht turraing teirmeach den scoth.

Cobhsaíocht mhaith ceimiceach, resistant d'aigéad, alcaile, salann, agus imoibrithe orgánacha, agus níl aon éifeacht aige ar mhiotail leáite, slaig, agus meáin chreimneach eile.Ní ocsaídíonn sé go mór san atmaisféar faoi bhun 400 C, agus ardaíonn an ráta ocsaídiúcháin go suntasach ag 800 ℃.

Gan aon ghás a scaoileadh ag teochtaí arda, is féidir leis folús 10-7mmHg a choinneáil ag timpeall 1800 °C.

Feidhmchlár táirge

Breogán leá le haghaidh galú sa tionscal leathsheoltóra.

Geata feadán leictreonach ardchumhachta.

Scuab a théann i dteagmháil leis an rialtóir voltais.

Monacrómatóir graifíte do X-gha agus neodrón.

Cruthanna éagsúla foshraitheanna graifíte agus sciath feadán ionsú adamhach.

微信截图_20240226161848
Éifeacht sciath carbóin pyrolytic faoi mhicreascóp 500X, le dromchla slán agus séalaithe.

Cumhdach Carbide Tantalum CVD

Is é sciath TaC an t-ábhar resistant teocht ard do ghlúin nua, le cobhsaíocht ardteochta níos fearr ná SiC.Mar sciath creimeadh-resistant, is féidir sciath frith-ocsaídiúcháin agus sciath chaitheamh-resistant, a úsáid sa timpeallacht os cionn 2000C, a úsáidtear go forleathan i gcodanna deireadh te aeraspáis teocht ultra-ard, na réimsí fáis criostail aonair leathsheoltóra tríú glúin.

Teicneolaíocht sciath chomhdhúile tantalam nuálaíoch_ Cruas ábhar feabhsaithe agus friotaíocht ardteochta
b917b6b4-7572-47fe-9074-24d33288257c
Antiwear tantalum carbide coating_ Cosnaíonn trealamh ó chaitheamh agus creimeadh Íomhá Réadmhaoin
3(2)
碳化钽涂层物理特性物理特性 Airíonna fisiceacha sciath TaC
密度/ Dlús 14.3 (g/cm3)
比辐射率 /Emissivity ar leith 0.3
热膨胀系数/ Comhéifeacht um leathnú teirmeach 6.3 10/K
努氏硬度 /cruas (HK) 2000 HK
电阻/ Friotaíocht 1 × 10-5 Ohm * cm
热稳定性 /Cobhsaíocht theirmeach <2500 ℃
石墨尺寸变化/Athruithe ar mhéid na graifíte -10~-20um
涂层厚度/Tiús sciath ≥220um luach tipiciúil (35um ±10um)

Carbíd Sileacain Soladach (CVD SiC)

Aithnítear páirteanna soladach CARBIDE SILICON CVD mar phríomhrogha le haghaidh fáinní agus bunanna RTP/EPI agus páirteanna cuas eitse plasma a oibríonn ag teochtaí oibriúcháin a theastaíonn ón gcóras ard (> 1500 ° C), tá na ceanglais maidir le íonacht ard go háirithe (> 99.9995%) agus tá an fheidhmíocht go háirithe go maith nuair a bhíonn na ceimiceáin friotaíochta go háirithe ard.Níl céimeanna tánaisteacha ag imeall na gránach sna hábhair seo, agus mar sin táirgeann comhpháirteanna na haile níos lú cáithníní ná ábhair eile.Ina theannta sin, is féidir na comhpháirteanna seo a ghlanadh ag baint úsáide as HF/HCI te gan mórán díghrádaithe, rud a fhágann go mbeidh níos lú cáithníní agus saol seirbhíse níos faide ann.

go 88
121212
Scríobh do theachtaireacht anseo agus seol chugainn é