Is diosca speisialaithe é TaC Coated Plate atá deartha le húsáid i bpróisis epitaxial SiC, agus é déanta go beacht ó ábhar graifíte ardcháilíochta. Tá a dhromchla brataithe go cúramach le cairbíd tantalam (TaC), comhdhúil ar a dtugtar íonacht agus neart eisceachtúil. Feabhsaíonn an sciath TaC marthanacht an phláta agus a fhriotaíocht ar theocht ard, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach do choinníollacha éilitheacha próisis epitaxial SiC.
Is diosca speisialaithe é an Pláta Brataithe TaC nuálach seo atá deartha le húsáid i bpróisis epitaxial SiC, agus é déanta go beacht ó ábhar graifíte ardcháilíochta. Tá dromchla Pláta Brataithe TaC brataithe go cúramach le carbíd tantalam (TaC), comhdhúil a bhfuil aithne air as a íonacht agus a neart eisceachtúil. feidhmíonn sé mar ardán iontaofa chun sliseog a iompar le linn céimeanna éagsúla d'fhás epitaxial SIC. Soláthraíonn a bhonn graifít ard-íonachta dromchla cobhsaí agus támh, agus cuireann an sciath TaC ciseal breise cosanta i gcoinne imoibrithe ceimiceacha agus caitheamh.
SemicréDéantar Pláta Brataithe TaC a shaincheapadh de réir riachtanais shonracha na gcustaiméirí, ag cinntiú an fheidhmíocht is fearr agus comhoiriúnacht lena gcórais epitaxial SiC. Cibé an méid, cruth nó sonraíochtaí eile é, déantar na plátaí seo a shaincheapadh chun freastal ar riachtanais uathúla gach iarratais.
le agus gan TaC
Tar éis TaC a úsáid (ar dheis)
Thairis sin, Semicera arTáirgí atá brataithe le TaCsaol seirbhíse níos faide a thaispeáint agus friotaíocht ardteochta níos mó i gcomparáid leCótaí SiC.Tá sé léirithe ag tomhais saotharlainne go bhfuil árBratuithe TaCis féidir leo feidhmiú go comhsheasmhach ag teochtaí suas le 2300 céim Celsius ar feadh tréimhsí fada. Seo thíos roinnt samplaí dár samplaí:
