sciath TaCIs sciath ábhar tábhachtach é, a ullmhaítear de ghnáth ar bhonn graifíte ag teicneolaíocht taiscí gaile orgánach miotail (MOCVD). Tá airíonna den scoth ag an sciath seo, mar shampla cruas ard, friotaíocht caitheamh den scoth, friotaíocht ard teochta agus cobhsaíocht cheimiceach, agus tá sé oiriúnach d'iarratais innealtóireachta ard-éilimh éagsúla.
Is teicneolaíocht fáis scannáin tanaí a úsáidtear go coitianta é teicneolaíocht MOCVD a thaisceann an scannán cumaisc atá ag teastáil ar dhromchla an tsubstráit trí réamhtheachtaithe orgánacha miotail a imoibriú le gáis imoibríocha ag teochtaí arda. Nuair a ullmhúsciath TaC, réamhtheachtaithe orgánacha miotail oiriúnacha agus foinsí carbóin a roghnú, coinníollacha imoibrithe agus paraiméadair taisce a rialú, is féidir scannán TaC aonfhoirmeach agus dlúth a thaisceadh ar bhonn graifít.
Soláthraíonn Semicera bratuithe cairbíde tantalam speisialaithe (TaC) do chomhpháirteanna agus d'iompróirí éagsúla.Cuireann an próiseas brataithe tosaigh Semicera ar chumas bratuithe chomhdhúile tantalam (TaC) íonacht ard, cobhsaíocht ardteochta agus lamháltas ceimiceach ard a bhaint amach, chun cáilíocht táirgí criostail SIC/GAN agus sraitheanna EPI a fheabhsú (Suceptor TaC brataithe le graifít), agus saol na bpríomhchodanna imoibreora a leathnú. Is é an úsáid a bhaint as sciath tantalum carbide TaC ná an fhadhb imeall a réiteach agus cáilíocht an fháis criostail a fheabhsú, agus tá Semicera tar éis an teicneolaíocht sciath tantalum carbide (CVD) a réiteach, ag teacht ar an ardleibhéal idirnáisiúnta.
Tar éis blianta forbartha, tá Semicera tar éis dul i ngleic le teicneolaíocht naCVD TaCle comhiarrachtaí na Roinne T&F. Is furasta lochtanna a tharlaíonn i bpróiseas fáis na sliseog SiC, ach tar éis iad a úsáidTaC, tá an difríocht suntasach. Anseo thíos tá comparáid idir sliseog le agus gan TaC, chomh maith le páirteanna Simicera le haghaidh fás criostail aonair.
le agus gan TaC
Tar éis TaC a úsáid (ar dheis)
Thairis sin, Semicera arTáirgí atá brataithe le TaCsaol seirbhíse níos faide a thaispeáint agus friotaíocht ardteochta níos mó i gcomparáid leCótaí SiC.Tá sé léirithe ag tomhais saotharlainne go bhfuil árBratuithe TaCis féidir leo feidhmiú go comhsheasmhach ag teochtaí suas le 2300 céim Celsius ar feadh tréimhsí fada. Seo thíos roinnt samplaí dár samplaí:
