Iompróirí sliseog epitaxial brataithe le TaCa úsáidtear de ghnáth in ullmhú feistí optoelectronic ardfheidhmíochta, feistí cumhachta, braiteoirí agus réimsí eile. seoiompróir wafer epitaxialtagairt do thaisceadh naTaCscannán tanaí ar an tsubstráit le linn an phróisis fáis criostail chun wafer a fhoirmiú le struchtúr agus feidhmíocht shonrach le haghaidh ullmhú gléas ina dhiaidh sin.
Úsáidtear teicneolaíocht sil-leagan ceimiceach gaile (CVD) de ghnáth chun ullmhúIompróirí sliseog epitaxial brataithe le TaC. Trí imoibriú réamhtheachtaithe orgánacha miotail agus gáis foinse carbóin ag teocht ard, is féidir scannán TaC a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit criostail. Is féidir le hairíonna leictreacha, optúla agus meicniúla den scoth a bheith ag an scannán seo agus tá sé oiriúnach chun feistí ardfheidhmíochta éagsúla a ullmhú.
Soláthraíonn Semicera bratuithe cairbíde tantalam speisialaithe (TaC) do chomhpháirteanna agus d'iompróirí éagsúla.Cuireann an próiseas brataithe tosaigh Semicera ar chumas bratuithe chomhdhúile tantalam (TaC) íonacht ard, cobhsaíocht ardteochta agus lamháltas ceimiceach ard a bhaint amach, chun cáilíocht táirgí criostail SIC/GAN agus sraitheanna EPI a fheabhsú (Suceptor TaC brataithe le graifít), agus saol na bpríomhchodanna imoibreora a leathnú. Is é an úsáid a bhaint as sciath tantalum carbide TaC ná an fhadhb imeall a réiteach agus cáilíocht an fháis criostail a fheabhsú, agus tá Semicera tar éis an teicneolaíocht sciath tantalum carbide (CVD) a réiteach, ag teacht ar an ardleibhéal idirnáisiúnta.
Tar éis blianta forbartha, tá Semicera tar éis dul i ngleic le teicneolaíocht naCVD TaCle comhiarrachtaí na Roinne T&F. Is furasta lochtanna a tharlaíonn i bpróiseas fáis na sliseog SiC, ach tar éis iad a úsáidTaC, tá an difríocht suntasach. Anseo thíos tá comparáid idir sliseog le agus gan TaC, chomh maith le páirteanna Simicera le haghaidh fás criostail aonair.
le agus gan TaC
Tar éis TaC a úsáid (ar dheis)
Thairis sin, Semicera arTáirgí atá brataithe le TaCsaol seirbhíse níos faide a thaispeáint agus friotaíocht ardteochta níos mó i gcomparáid leCótaí SiC.Tá sé léirithe ag tomhais saotharlainne go bhfuil árBratuithe TaCis féidir leo feidhmiú go comhsheasmhach ag teochtaí suas le 2300 céim Celsius ar feadh tréimhsí fada. Seo thíos roinnt samplaí dár samplaí:
