Léiríonn Foshraith Ceirmeacha Silicon Nitride Semicera buaic na teicneolaíochta ábhair chun cinn, ag soláthar seoltacht teirmeach eisceachtúil agus airíonna meicniúla láidre. Innealtóireacht d'fheidhmchláir ardfheidhmíochta, sáraíonn an tsubstráit seo i dtimpeallachtaí a éilíonn bainistíocht teirmeach iontaofa agus sláine struchtúrach.
Tá ár bhFoshraitheanna Ceirmeacha Silicon Nitride deartha chun teochtaí foircneacha agus coinníollacha crua a sheasamh, rud a fhágann go bhfuil siad oiriúnach do ghléasanna leictreonacha ardchumhachta agus ard-minicíochta. Cinntíonn a seoltacht theirmeach níos fearr diomailt teasa éifeachtach, rud atá ríthábhachtach chun feidhmíocht agus fad saoil na gcomhpháirteanna leictreonacha a chothabháil.
Tá tiomantas Semicera do cháilíocht le feiceáil i ngach Foshraith Cheirmeach Nítríde Silicon a tháirgeann muid. Déantar gach foshraith a mhonarú ag baint úsáide as próisis den scoth chun feidhmíocht chomhsheasmhach agus lochtanna íosta a chinntiú. Tacaíonn an ardleibhéal cruinnis seo le dianéilimh na dtionscal amhail feithicleach, aeraspáis agus teileachumarsáid.
Chomh maith lena buntáistí teirmeacha agus meicniúla, cuireann ár bhfoshraitheanna airíonna inslithe leictreacha den scoth, rud a chuireann le hiontaofacht iomlán do ghléasanna leictreonacha. Trí chur isteach leictreach a laghdú agus cobhsaíocht comhpháirteanna a fheabhsú, tá ról ríthábhachtach ag Foshraitheanna Ceirmeacha Silicon Nitride Semicera maidir le feidhmíocht gléas a bharrfheabhsú.
Ciallaíonn Roghnú Foshraith Ceirmeacha Silicon Nitride Semicera infheistíocht a dhéanamh i dtáirge a sheachadann ardfheidhmíocht agus marthanacht araon. Déantar ár bhfoshraitheanna a innealtóireacht chun freastal ar riachtanais na n-iarratas leictreonach chun cinn, ag cinntiú go mbaineann do chuid feistí leas as teicneolaíocht ábhar ceannródaíoch agus as iontaofacht eisceachtúil.
| Míreanna | Táirgeadh | Taighde | Caochadán |
| Paraiméadair Criostail | |||
| Polytype | 4H | ||
| Earráid treoshuímh dromchla | <11-20 >4±0.15° | ||
| Paraiméadair Leictreacha | |||
| Dopant | n-cineál Nítrigine | ||
| Friotaíocht | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paraiméadair Mheicniúla | |||
| Trastomhas | 150.0±0.2mm | ||
| Tiús | 350 ±25 μm | ||
| Treoshuíomh cothrom bunscoile | [1-100]±5° | ||
| Fad comhréidh bunscoile | 47.5 ± 1.5mm | ||
| Árasán tánaisteach | Dada | ||
| teilifís | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Dlúth | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Garbhacht tosaigh (Si-aghaidh) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struchtúr | |||
| Dlús micreaphíopaí | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Neamhíonachtaí miotail | ≤5E10adamh/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500ea/cm2 | ≤3000ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000ea/cm2 | NA |
| Cáilíocht Tosaigh | |||
| Tosaigh | Si | ||
| Críochnú dromchla | Si-aghaidh CMP | ||
| Cáithníní | ≤60ea/wafer (méid≥0.3μm) | NA | |
| scratches | ≤5ea/mm. Fad carnach ≤ Trastomhas | Fad carnach≤2* Trastomhas | NA |
| Craiceann oráiste / claiseanna / stains / stríoca / scoilteanna / éilliú | Dada | NA | |
| Sceallóga imill / fleasc / briste / plátaí heicsidheachúlach | Dada | ||
| Réimsí polytype | Dada | Achar carnach ≤20% | Achar carnach ≤30% |
| Marcáil léasair tosaigh | Dada | ||
| Cáilíocht Ar Ais | |||
| Críoch ar ais | C-aghaidh CMP | ||
| scratches | ≤5ea/mm, Fad carnach≤2* Trastomhas | NA | |
| Lochtanna cúil (sliseanna imeall/fleasc) | Dada | ||
| Ar ais roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Marcáil léasair ar ais | 1 mm (ón imeall barr) | ||
| Imeall | |||
| Imeall | Chamfer | ||
| Pacáistiú | |||
| Pacáistiú | Epi-réidh le pacáistiú i bhfolús Pacáistiú caiséad il-wafer | ||
| *Nótaí: ciallaíonn "NA" aon iarratas Féadfaidh míreanna nach luaitear tagairt a dhéanamh do SEMI-STD. | |||
