leathmhiortugtar isteach a ard-chaighdeánSi Epitaxyseirbhísí, atá deartha chun caighdeáin dhian thionscal leathsheoltóra an lae inniu a chomhlíonadh. Tá sraitheanna sileacain epitaxial ríthábhachtach maidir le feidhmíocht agus iontaofacht gléasanna leictreonacha, agus cinntíonn ár réitigh Si Epitaxy go mbainfidh do chomhpháirteanna an fheidhmiúlacht is fearr amach.
Sraitheanna Sileacain Fásta Beachtais leathmhiora thuiscint go luíonn bunús na bhfeistí ardfheidhmíochta le cáilíocht na n-ábhar a úsáidtear. ÁrSi Epitaxydéantar an próiseas a rialú go cúramach chun sraitheanna sileacain a tháirgeadh le haonfhoirmeacht eisceachtúil agus sláine criostail. Tá na sraitheanna seo riachtanach d'fheidhmchláir ó mhicrileictreonaic go hardfheistí cumhachta, áit a bhfuil comhsheasmhacht agus iontaofacht ríthábhachtach.
Optamaithe le haghaidh Feidhmíochta GléasTá anSi Epitaxytá na seirbhísí a chuireann Semicera ar fáil in oiriúint chun airíonna leictreacha do ghléasanna a fheabhsú. Trí sraitheanna sileacain ard-íonachta a fhás le dlús íseal lochtanna, cinnteoimid go bhfeidhmíonn do chomhpháirteanna ar a ndícheall, le soghluaisteacht iompróra feabhsaithe agus le friotachas leictreach íoslaghdaithe. Tá an leas iomlán a bhaint seo ríthábhachtach chun na tréithe ardluais agus ardéifeachtúlachta a éilíonn an teicneolaíocht nua-aimseartha a bhaint amach.
Solúbthacht in Feidhmchláir leathmhior'sSi Epitaxyoiriúnach do raon leathan feidhmchlár, lena n-áirítear trasraitheoirí CMOS, MOSFETanna cumhachta, agus trasraitheoirí acomhal dépholach a tháirgeadh. Ceadaíonn ár bpróiseas solúbtha do shaincheapadh bunaithe ar riachtanais shonracha do thionscadal, cibé an bhfuil sraitheanna tanaí de dhíth ort le haghaidh feidhmchláir ard-minicíochta nó sraitheanna níos tiús le haghaidh feistí cumhachta.
Cáilíocht Ábhar SuperiorTá cáilíocht i gcroílár gach a ndéanaimid ag Semicera. ÁrSi EpitaxyÚsáideann an próiseas trealamh agus teicnící den scoth chun a chinntiú go gcomhlíonann gach ciseal sileacain na caighdeáin is airde íonachta agus sláine struchtúrach. Laghdaíonn an aird seo ar mhionsonraí tarlú lochtanna a d'fhéadfadh tionchar a bheith acu ar fheidhmíocht an fheiste, rud a fhágann go mbeidh comhpháirteanna níos iontaofa agus níos faide.
Tiomantas don Nuálaíocht leathmhiortiomanta do fanacht ar thús cadhnaíochta na teicneolaíochta leathsheoltóra. ÁrSi EpitaxyLéiríonn seirbhísí an tiomantas seo, ag ionchorprú na dul chun cinn is déanaí i dteicnící fáis epitaxial. Déanaimid ár bpróisis a bheachtú go leanúnach chun sraitheanna sileacain a sheachadadh a fhreastalaíonn ar riachtanais athraitheacha an tionscail, ag cinntiú go bhfanann do tháirgí iomaíoch sa mhargadh.
Réitigh In oiriúint do Do RiachtanaisA thuiscint go bhfuil gach tionscadal uathúil,leathmhiortairiscintí saincheapthaSi Epitaxyréitigh a oireann do do riachtanais ar leith. Cibé an bhfuil próifílí dópála ar leith, tiús ciseal nó bailchríocha dromchla ag teastáil uait, oibríonn ár bhfoireann go dlúth leat chun táirge a sheachadadh a chomhlíonann do shonraíochtaí beachta.
| Míreanna | Táirgeadh | Taighde | Caochadán |
| Paraiméadair Criostail | |||
| Polytype | 4H | ||
| Earráid treoshuímh dromchla | <11-20 >4±0.15° | ||
| Paraiméadair Leictreacha | |||
| Dopant | n-cineál Nítrigine | ||
| Friotaíocht | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paraiméadair Mheicniúla | |||
| Trastomhas | 150.0±0.2mm | ||
| Tiús | 350 ±25 μm | ||
| Treoshuíomh cothrom bunscoile | [1-100]±5° | ||
| Fad comhréidh bunscoile | 47.5 ± 1.5mm | ||
| Árasán tánaisteach | Dada | ||
| teilifís | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Dlúth | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Garbhacht tosaigh (Si-aghaidh) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struchtúr | |||
| Dlús micreaphíopaí | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Neamhíonachtaí miotail | ≤5E10adamh/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500ea/cm2 | ≤3000ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000ea/cm2 | NA |
| Cáilíocht Tosaigh | |||
| Tosaigh | Si | ||
| Críochnú dromchla | Si-aghaidh CMP | ||
| Cáithníní | ≤60ea/wafer (méid≥0.3μm) | NA | |
| scratches | ≤5ea/mm. Fad carnach ≤ Trastomhas | Fad carnach≤2* Trastomhas | NA |
| Craiceann oráiste / claiseanna / stains / stríoca / scoilteanna / éilliú | Dada | NA | |
| Sceallóga imill / fleasc / briste / plátaí heicsidheachúlach | Dada | ||
| Réimsí polytype | Dada | Achar carnach ≤20% | Achar carnach ≤30% |
| Marcáil léasair tosaigh | Dada | ||
| Cáilíocht Ar Ais | |||
| Críoch ar ais | C-aghaidh CMP | ||
| scratches | ≤5ea/mm, Fad carnach≤2* Trastomhas | NA | |
| Lochtanna cúil (sliseanna imeall/fleasc) | Dada | ||
| Ar ais roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Marcáil léasair ar ais | 1 mm (ón imeall barr) | ||
| Imeall | |||
| Imeall | Chamfer | ||
| Pacáistiú | |||
| Pacáistiú | Epi-réidh le pacáistiú i bhfolús Pacáistiú caiséad il-wafer | ||
| *Nótaí: ciallaíonn "NA" aon iarratas Féadfaidh míreanna nach luaitear tagairt a dhéanamh do SEMI-STD. | |||
