leathmhiortugtar isteach anCaiséad Leathsheoltóra, uirlis riachtanach chun sliseoga a láimhseáil go slán agus go héifeachtach ar fud an phróisis déantúsaíochta leathsheoltóra. Arna innealtóireacht le cruinneas ard, cinntíonn an caiséad seo go stóráiltear agus go n-iompraítear do chuid sliseog go sábháilte, ag cothabháil a n-ionracas ag gach céim.
Superior Cosaint agus MarthanachtTá anCaiséad Leathsheoltóraó Semicera tógtha chun cosaint uasta a thairiscint do do sliseog. Tógtha as ábhair láidre éillithe-resistant, sciathaíonn sé do sliseog ó dhamáiste féideartha agus éilliú, rud a fhágann gur rogha iontach é do thimpeallachtaí seomra glan. Laghdaíonn dearadh an caiséad giniúint na gcáithníní agus cinntíonn sé go bhfanann sliseog gan teagmháil agus slán le linn láimhseála agus iompair.
Dearadh Feabhsaithe don Fheidhmíocht is FearrSemicea arCaiséad Leathsheoltóragnéithe deartha go cúramach innealtóireacht a sholáthraíonn ailíniú beacht wafer, a laghdaíonn an baol mí-ailíniú agus damáiste meicniúil. Tá sliotáin an caiséad spásáilte go foirfe chun gach slógán a choinneáil go daingean, rud a choscann aon ghluaiseacht a bhféadfadh scratches nó lochtanna eile a bheith mar thoradh air.
Solúbthacht agus ComhoiriúnachtTá anCaiséad LeathsheoltóraTá sé ildánach agus comhoiriúnach le méideanna éagsúla wafer, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach do chéimeanna éagsúla de dhéantús leathsheoltóra. Cibé an bhfuil tú ag obair le toisí caighdeánacha nó saincheaptha sliseog, cuireann an caiséad seo in oiriúint do do chuid riachtanas, ag tairiscint solúbthachta i do phróisis déantúsaíochta.
Láimhseáil Shimplithe agus ÉifeachtúlachtDeartha leis an úsáideoir i gcuimhne, anCaiséad Leathsheoltóra Leathsheoltóraéadrom agus éasca le láimhseáil, rud a ligeann do luchtú agus díluchtú tapa agus éifeachtach. Ní hamháin go sábhálann an dearadh eirgeanamaíochta seo am ach laghdaíonn sé an baol earráide daonna freisin, ag cinntiú oibríochtaí réidh laistigh de do shaoráid.
Caighdeáin Tionscail a ChomhlíonadhCinntíonn Semicera go bhfuil anCaiséad Leathsheoltórachomhlíonann na caighdeáin tionscail is airde maidir le cáilíocht agus iontaofacht. Déantar tástáil dhian ar gach caiséad chun a chinntiú go bhfeidhmíonn sé go comhsheasmhach faoi choinníollacha éilitheacha déantúsaíochta leathsheoltóra. Cinntíonn an tiomantas cáilíochta seo go gcosnaítear do chuid sliseog i gcónaí, agus go gcoimeádtar na caighdeáin arda a theastaíonn sa tionscal.
Míreanna | Táirgeadh | Taighde | Caochadán |
Paraiméadair Criostail | |||
Polytype | 4H | ||
Earráid treoshuímh dromchla | <11-20 >4±0.15° | ||
Paraiméadair Leictreacha | |||
Dopant | n-cineál Nítrigine | ||
Friotaíocht | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Paraiméadair Mheicniúla | |||
Trastomhas | 150.0±0.2mm | ||
Tiús | 350 ±25 μm | ||
Treoshuíomh cothrom bunscoile | [1-100]±5° | ||
Fad comhréidh bunscoile | 47.5 ± 1.5mm | ||
Árasán tánaisteach | Dada | ||
teilifís | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Dlúth | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Garbhacht tosaigh (Si-aghaidh) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Struchtúr | |||
Dlús micreaphíopaí | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Neamhíonachtaí miotail | ≤5E10adamh/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500ea/cm2 | ≤3000ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000ea/cm2 | NA |
Cáilíocht Tosaigh | |||
Tosaigh | Si | ||
Críochnú dromchla | Si-aghaidh CMP | ||
Cáithníní | ≤60ea/wafer (méid≥0.3μm) | NA | |
scratches | ≤5ea/mm. Fad carnach ≤ Trastomhas | Fad carnach≤2* Trastomhas | NA |
Craiceann oráiste / claiseanna / stains / stríoca / scoilteanna / éilliú | Dada | NA | |
Sceallóga imill / fleasc / briste / plátaí heicsidheachúlach | Dada | ||
Réimsí polytype | Dada | Achar carnach ≤20% | Achar carnach ≤30% |
Marcáil léasair tosaigh | Dada | ||
Cáilíocht Ar Ais | |||
Críoch ar ais | C-aghaidh CMP | ||
scratches | ≤5ea/mm, Fad carnach≤2* Trastomhas | NA | |
Lochtanna cúil (sliseanna imeall/fleasc) | Dada | ||
Ar ais roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Marcáil léasair ar ais | 1 mm (ón imeall barr) | ||
Imeall | |||
Imeall | Chamfer | ||
Pacáistiú | |||
Pacáistiú | Epi-réidh le pacáistiú i bhfolús Pacáistiú caiséad il-wafer | ||
*Nótaí: ciallaíonn "NA" aon iarratas Féadfaidh míreanna nach luaitear tagairt a dhéanamh do SEMI-STD. |