Caiséad Leathsheoltóra

Cur síos gairid:

Caiséad Leathsheoltóra– Cosain agus iompair do chuid sliseog go beacht trí úsáid a bhaint as Caiséad Leathsheoltóra Semicera, atá deartha chun an tsábháilteacht agus an éifeachtúlacht is fearr a chinntiú i dtimpeallachtaí déantúsaíochta ardteicneolaíochta.


Sonraí Táirge

Clibeanna Táirge

leathmhiortugtar isteach anCaiséad Leathsheoltóra, uirlis riachtanach chun sliseoga a láimhseáil go slán agus go héifeachtach ar fud an phróisis déantúsaíochta leathsheoltóra. Arna innealtóireacht le cruinneas ard, cinntíonn an caiséad seo go stóráiltear agus go n-iompraítear do chuid sliseog go sábháilte, ag cothabháil a n-ionracas ag gach céim.

Superior Cosaint agus MarthanachtTá anCaiséad Leathsheoltóraó Semicera tógtha chun cosaint uasta a thairiscint do do sliseog. Tógtha as ábhair láidre, éillithe-resistant, sciathaíonn sé do sliseog ó dhamáiste féideartha agus éilliú, rud a fhágann gur rogha iontach é do thimpeallachtaí seomra glan. Laghdaíonn dearadh an caiséad giniúint cháithníneach agus cinntíonn sé go bhfanann sliseog gan teagmháil agus slán le linn láimhseála agus iompair.

Dearadh Feabhsaithe don Fheidhmíocht is FearrLeathcheannaisCaiséad Leathsheoltóragnéithe deartha go cúramach innealtóireacht a sholáthraíonn ailíniú beacht wafer, a laghdaíonn an baol mí-ailíniú agus damáiste meicniúil. Tá sliotáin an caiséad spásáilte go foirfe chun gach slógán a choinneáil go daingean, rud a choscann aon ghluaiseacht a bhféadfadh scratches nó lochtanna eile a bheith mar thoradh air.

Solúbthacht agus ComhoiriúnachtTá anCaiséad LeathsheoltóraTá sé ildánach agus comhoiriúnach le méideanna éagsúla wafer, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach do chéimeanna éagsúla de dhéantús leathsheoltóra. Cibé an bhfuil tú ag obair le toisí caighdeánacha nó saincheaptha sliseog, cuireann an caiséad seo in oiriúint do do chuid riachtanas, ag tairiscint solúbthachta i do phróisis déantúsaíochta.

Láimhseáil agus Éifeachtúlacht ShimplitheDeartha leis an úsáideoir i gcuimhne, anCaiséad Leathsheoltóra Leathsheoltóraéadrom agus éasca le láimhseáil, rud a ligeann do luchtú agus díluchtú tapa agus éifeachtach. Ní hamháin go sábhálann an dearadh eirgeanamaíochta seo am ach laghdaíonn sé an baol earráide daonna freisin, ag cinntiú oibríochtaí réidh laistigh de do shaoráid.

Caighdeáin Tionscail a ChomhlíonadhCinntíonn Semicera go bhfuil anCaiséad Leathsheoltórachomhlíonann na caighdeáin tionscail is airde maidir le cáilíocht agus iontaofacht. Déantar tástáil dhian ar gach caiséad chun a chinntiú go bhfeidhmíonn sé go comhsheasmhach faoi choinníollacha éilitheacha déantúsaíochta leathsheoltóra. Cinntíonn an tiomantas cáilíochta seo go gcosnaítear do chuid sliseog i gcónaí, agus go gcoimeádtar na caighdeáin arda a theastaíonn sa tionscal.

Míreanna

Táirgeadh

Taighde

Caochadán

Paraiméadair Criostail

Polytype

4H

Earráid treoshuímh dromchla

<11-20 >4±0.15°

Paraiméadair Leictreacha

Dopant

n-cineál Nítrigine

Friotaíocht

0.015-0.025ohm·cm

Paraiméadair Mheicniúla

Trastomhas

150.0±0.2mm

Tiús

350 ±25 μm

Treoshuíomh cothrom bunscoile

[1-100]±5°

Fad comhréidh bunscoile

47.5 ± 1.5mm

Árasán tánaisteach

Dada

teilifís

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm(5mm*5mm)

≤5 μm(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

Bow

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Dlúth

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Garbhacht tosaigh (Si-aghaidh) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Struchtúr

Dlús micreaphíopaí

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Neamhíonachtaí miotail

≤5E10adamh/cm2

NA

BPD

≤1500ea/cm2

≤3000ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000ea/cm2

NA

Cáilíocht Tosaigh

Tosaigh

Si

Críochnú dromchla

Si-aghaidh CMP

Cáithníní

≤60ea/wafer (méid≥0.3μm)

NA

scratches

≤5ea/mm. Fad carnach ≤ Trastomhas

Fad carnach≤2* Trastomhas

NA

Craiceann oráiste / claiseanna / stains / stríoca / scoilteanna / éilliú

Dada

NA

Sceallóga imill / fleasc / briste / plátaí heicsidheachúlach

Dada

Réimsí polytype

Dada

Achar carnach ≤20%

Achar carnach ≤30%

Marcáil léasair tosaigh

Dada

Cáilíocht Ar Ais

Críoch ar ais

C-aghaidh CMP

scratches

≤5ea/mm, Fad carnach≤2* Trastomhas

NA

Lochtanna cúil (sliseanna imeall/fleasc)

Dada

Ar ais roughness

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Marcáil léasair ar ais

1 mm (ón imeall barr)

Imeall

Imeall

Chamfer

Pacáistiú

Pacáistiú

Epi-réidh le pacáistiú i bhfolús

Pacáistiú caiséad il-wafer

*Nótaí: ciallaíonn "NA" aon iarratas Féadfaidh míreanna nach luaitear tagairt a dhéanamh do SEMI-STD.

tech_1_2_méid
sliseog SiC

  • Roimhe Seo:
  • Ar Aghaidh: