Carbíd Sileacain Bulc CVD (SiC)
Forbhreathnú:CVDchomhdhúile sileacain mórchóir (SIC)Is ábhar an-iarrtha é i dtrealamh eitseála plasma, iarratais ar phróiseáil theirmeach tapa (RTP), agus i bpróisis déantúsaíochta leathsheoltóra eile. Mar gheall ar a n-airíonna meicniúla, ceimiceacha agus teirmeacha eisceachtúla is ábhar iontach é d'fheidhmchláir ardteicneolaíochta a éilíonn ardchruinneas agus marthanacht.
Feidhmchláir CVD Bulk SiC:Tá Bulk SiC ríthábhachtach sa tionscal leathsheoltóra, go háirithe i gcórais eitseála plasma, áit a mbaineann comhpháirteanna cosúil le fáinní fócais, cinn cithfholcadh gáis, fáinní imeall, agus pláitíní leas as friotaíocht creimeadh den scoth agus seoltacht theirmeach SiC. Síneann a úsáid goRTPcórais mar gheall ar chumas SiC luaineachtaí tapa teochta a sheasamh gan díghrádú suntasach.
Chomh maith le trealamh eitseála, CVDmórchóir SiCTá bail ar fónamh orthu i bhfoirnéisí idirleata agus i bpróisis fáis criostail, áit a bhfuil gá le cobhsaíocht theirmeach ard agus friotaíocht ar thimpeallachtaí ceimiceacha crua. Déanann na tréithe seo SiC an t-ábhar is rogha le haghaidh feidhmeanna ard-éilimh a bhaineann le teocht ard agus gáis chreimneach, mar iad siúd a bhfuil clóirín agus fluairín iontu.
Buntáistí a bhaineann le Comhpháirteanna Bulc SiC CVD:
•Ard-Dlús:Le dlús 3.2 g/cm³,CVD mórchóir SiCtá comhpháirteanna an-resistant a chaitheamh agus tionchar meicniúil.
•Seoltacht Teirmeach Sármhaith:Agus seoltacht theirmeach 300 W/m·K á thairiscint aige, bainistíonn bulc-SIC teas go héifeachtach, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach do chomhpháirteanna a nochtar do thimthriallta foircneacha teirmeacha.
•Friotaíocht Cheimiceach Eisceachtúil:Cinntíonn imoibríocht íseal SiC le gáis eitseála, lena n-áirítear ceimiceáin atá bunaithe ar chlóirín agus fluairín, saolré comhpháirte fada.
•Friotaíocht Inchoigeartaithe: Bulc-SICanna CVDis féidir friotachas a shaincheapadh laistigh den raon 10⁻²–10⁴ Ω-cm, rud a fhágann go bhfuil sé inoiriúnaithe do riachtanais shonracha déantúsaíochta eitseála agus leathsheoltóra.
•Comhéifeacht Leathnú Teirmeach:Le comhéifeacht leathnaithe teirmeach de 4.8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C), seasann mórchóir CVD SiC i gcoinne turraing teirmeach, ag cothabháil cobhsaíochta tríthoiseach fiú le linn timthriallta teasa agus fuaraithe tapa.
•Marthanacht i Plasma:Tá nochtadh do gháis plasma agus imoibríocha dosheachanta i bpróisis leathsheoltóra, achCVD mórchóir SiCcuireann sé friotaíocht níos fearr ar chreimeadh agus ar dhíghrádú, ag laghdú minicíocht athsholáthair agus costais chothabhála foriomlána.
Sonraíochtaí Teicniúla:
•Trastomhas:Níos mó ná 305 mm
•Friotaíocht:Inchoigeartaithe laistigh de 10⁻²–10⁴ Ω-cm
•Dlús:3.2 g / cm³
•Seoltacht Theirmeach:300 W/m·K
•Comhéifeacht Leathnú Teirmeach:4.8×10⁻⁶/°C (25–1000°C)
Saincheapadh agus Solúbthacht:AgLeathsheoltóir Leathsheoltóra, tuigimid go bhféadfadh sonraíochtaí éagsúla a bheith ag teastáil ó gach iarratas leathsheoltóra. Sin an fáth go bhfuil ár mórchuid comhpháirteanna CVD SiC inoiriúnaithe go hiomlán, le friotachas inchoigeartaithe agus toisí oiriúnaithe chun freastal ar do riachtanais trealaimh. Cibé an bhfuil tú ag barrfheabhsú do chórais eitseála plasma nó ag lorg comhpháirteanna marthanacha i bpróisis RTP nó idirleata, seachadann ár mórchóir CVD SiC feidhmíocht thar na bearta.
