Carbíd Sileacain Bulc CVD (SiC)
Forbhreathnú:CVDchomhdhúile sileacain mórchóir (SIC)Is ábhar an-iarrtha é i dtrealamh eitseála plasma, iarratais ar phróiseáil theirmeach tapa (RTP), agus i bpróisis déantúsaíochta leathsheoltóra eile. Mar gheall ar a n-airíonna meicniúla, ceimiceacha agus teirmeacha eisceachtúla is ábhar iontach é d'fheidhmchláir ardteicneolaíochta a éilíonn ardchruinneas agus marthanacht.
Feidhmchláir CVD Bulk SiC:Tá Bulk SiC ríthábhachtach sa tionscal leathsheoltóra, go háirithe i gcórais eitseála plasma, áit a mbaineann comhpháirteanna cosúil le fáinní fócais, cinn cithfholcadh gáis, fáinní imeall, agus pláitíní leas as friotaíocht creimeadh den scoth agus seoltacht theirmeach SiC. Síneann a úsáid goRTPcórais mar gheall ar chumas SiC luaineachtaí tapa teochta a sheasamh gan díghrádú suntasach.
Chomh maith le trealamh eitseála, CVDmórchóir SiCTá bail ar fónamh orthu i bhfoirnéisí idirleata agus i bpróisis fáis criostail, áit a bhfuil gá le cobhsaíocht theirmeach ard agus friotaíocht ar thimpeallachtaí ceimiceacha crua. Déanann na tréithe seo SiC an t-ábhar is rogha le haghaidh feidhmeanna ard-éilimh a bhaineann le teocht ard agus gáis chreimneach, mar iad siúd a bhfuil clóirín agus fluairín iontu.
Buntáistí a bhaineann le Comhpháirteanna Bulc SiC CVD:
•Ard-Dlús:Le dlús 3.2 g/cm³,CVD mórchóir SiCtá comhpháirteanna an-resistant a chaitheamh agus tionchar meicniúil.
•Seoltacht Teirmeach Sármhaith:Agus seoltacht theirmeach 300 W/m·K á thairiscint aige, bainistíonn bulc-SIC teas go héifeachtach, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach do chomhpháirteanna a nochtar do thimthriallta foircneacha teirmeacha.
•Friotaíocht Cheimiceach Eisceachtúil:Cinntíonn imoibríocht íseal SiC le gáis eitseála, lena n-áirítear ceimiceáin atá bunaithe ar chlóirín agus fluairín, saolré comhpháirte fada.
•Friotaíocht Inchoigeartaithe: Bulc-SICanna CVDis féidir friotachas a shaincheapadh laistigh den raon 10⁻²–10⁴ Ω-cm, rud a fhágann go bhfuil sé inoiriúnaithe do riachtanais shonracha déantúsaíochta eitseála agus leathsheoltóra.
•Comhéifeacht Leathnú Teirmeach:Le comhéifeacht leathnaithe teirmeach de 4.8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C), seasann mórchóir CVD SiC i gcoinne turraing teirmeach, ag cothabháil cobhsaíochta tríthoiseach fiú le linn timthriallta teasa agus fuaraithe tapa.
•Marthanacht i Plasma:Tá nochtadh do gháis plasma agus imoibríocha dosheachanta i bpróisis leathsheoltóra, achCVD mórchóir SiCcuireann sé friotaíocht níos fearr ar chreimeadh agus ar dhíghrádú, ag laghdú minicíocht athsholáthair agus costais chothabhála foriomlána.
Sonraíochtaí Teicniúla:
•Trastomhas:Níos mó ná 305 mm
•Friotaíocht:Inchoigeartaithe laistigh de 10⁻²–10⁴ Ω-cm
•Dlús:3.2 g / cm³
•Seoltacht Theirmeach:300 W/m·K
•Comhéifeacht Leathnú Teirmeach:4.8×10⁻⁶/°C (25–1000°C)
Saincheapadh agus Solúbthacht:AgLeathsheoltóir Leathsheoltóra, tuigimid go bhféadfadh sonraíochtaí éagsúla a bheith ag teastáil ó gach iarratas leathsheoltóra. Sin an fáth go bhfuil ár gcomhpháirteanna móra CVD SiC lán-inoiriúnaithe, le friotachas inchoigeartaithe agus toisí oiriúnaithe chun freastal ar do riachtanais trealaimh. Cibé an bhfuil tú ag barrfheabhsú do chórais eitseála plasma nó ag lorg comhpháirteanna marthanacha i bpróisis RTP nó idirleata, seachadann ár mórchóir CVD SiC feidhmíocht thar na bearta.
