leathmhiorsásta a thairiscint ar anCaiséad PFA, rogha préimhe maidir le láimhseáil wafer i dtimpeallachtaí ina bhfuil friotaíocht ceimiceach agus marthanacht ríthábhachtach. Déanta as ábhar ard-íonachta Perfluoroalkoxy (PFA), tá an caiséad seo deartha chun na coinníollacha is déine i ndéantúsaíocht leathsheoltóra a sheasamh, ag cinntiú sábháilteacht agus sláine do sliseog.
Friotaíocht Cheimiceach gan ChomhoiriúnúTá anCaiséad PFAa innealtóireacht chun friotaíocht níos fearr a sholáthar do raon leathan ceimiceán, rud a fhágann gurb é an rogha iontach é do phróisis a bhaineann le haigéid ionsaitheach, tuaslagóirí agus ceimiceáin chrua eile. Cinntíonn an fhriotaíocht láidir cheimiceach seo go bhfanann an caiséad slán agus feidhmiúil fiú sna timpeallachtaí is creimneach, rud a leathnaíonn a shaolré agus laghdaítear an gá atá le hathchur go minic.
Tógáil Ard-íonachtaLeathcheannaisCaiséad PFAa mhonaraítear as ábhar PFA ultra-íon, atá ríthábhachtach chun éilliú a chosc le linn próiseála sliseog. Laghdaíonn an tógáil ard-íonachta seo an baol ó ghiniúint cáithníní agus láisteadh ceimiceach, ag cinntiú go bhfuil do sliseog cosanta ó neamhíonachtaí a d'fhéadfadh a gcáilíocht a chur i mbaol.
Marthanacht agus Feidhmíocht FeabhsaitheDeartha le haghaidh marthanacht, anCaiséad PFAcoinníonn sé a sláine struchtúrach faoi theocht foircneach agus faoi dhianchoinníollacha próiseála. Cibé an bhfuil sé faoi lé teochtaí arda nó faoi réir láimhseáil arís agus arís eile, coimeádann an caiséad seo a chruth agus a fheidhmíocht, ag tairiscint iontaofacht fhadtéarmach i dtimpeallachtaí déantúsaíochta éilitheacha.
Innealtóireacht Bheachtais le Láimhsiú SlánTá anCaiséad leathcheann PFAgnéithe innealtóireacht bheacht a chinntíonn láimhseáil slán agus cobhsaí wafer. Tá gach sliotán deartha go cúramach chun sliseoga a choinneáil slán in áit, rud a choscann aon ghluaiseacht nó aistriú a d'fhéadfadh damáiste a dhéanamh. Tacaíonn an innealtóireacht bheachtais seo le socrúchán sliseog comhsheasmhach agus cruinn, ag cur le héifeachtúlacht próisis iomlán.
Feidhmchlár Ilghnéitheach Trasna PróisisA bhuíochas dá n-airíonna ábhair níos fearr, tá anCaiséad PFATá sé ildánach go leor le húsáid ar fud na gcéimeanna éagsúla den déantús leathsheoltóra. Tá sé an-oiriúnach go háirithe le haghaidh eitseáil fhliuch, sil-leagan ceimiceach gaile (CVD), agus próisis eile a bhaineann le timpeallachtaí crua ceimiceacha. Mar gheall ar a inoiriúnaitheacht is uirlis riachtanach é chun sláine próisis agus cáilíocht sliseog a chothabháil.
Tiomantas do Cháilíocht agus NuálaíochtAg Semicera, táimid tiomanta do tháirgí a chomhlíonann na caighdeáin tionscail is airde a sholáthar. Tá anCaiséad PFAmar eiseamláir den tiomantas seo, ag tairiscint réiteach iontaofa a chomhtháthaíonn gan uaim i do phróisis déantúsaíochta. Déantar rialú cáilíochta dian ar gach caiséad lena chinntiú go gcomhlíonann sé ár gcritéar feidhmíochta dian, ag seachadadh an fheabhais a bhfuil súil agat ó Semicera.
| Míreanna | Táirgeadh | Taighde | Caochadán |
| Paraiméadair Criostail | |||
| Polytype | 4H | ||
| Earráid treoshuímh dromchla | <11-20 >4±0.15° | ||
| Paraiméadair Leictreacha | |||
| Dopant | n-cineál Nítrigine | ||
| Friotaíocht | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paraiméadair Mheicniúla | |||
| Trastomhas | 150.0±0.2mm | ||
| Tiús | 350 ±25 μm | ||
| Treoshuíomh cothrom bunscoile | [1-100]±5° | ||
| Fad comhréidh bunscoile | 47.5 ± 1.5mm | ||
| Árasán tánaisteach | Dada | ||
| teilifís | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Dlúth | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Garbhacht tosaigh (Si-aghaidh) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struchtúr | |||
| Dlús micreaphíopaí | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Neamhíonachtaí miotail | ≤5E10adamh/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500ea/cm2 | ≤3000ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000ea/cm2 | NA |
| Cáilíocht Tosaigh | |||
| Tosaigh | Si | ||
| Críochnú dromchla | Si-aghaidh CMP | ||
| Cáithníní | ≤60ea/wafer (méid≥0.3μm) | NA | |
| scratches | ≤5ea/mm. Fad carnach ≤ Trastomhas | Fad carnach≤2* Trastomhas | NA |
| Craiceann oráiste / claiseanna / stains / stríoca / scoilteanna / éilliú | Dada | NA | |
| Sceallóga imill / fleasc / briste / plátaí heicsidheachúlach | Dada | ||
| Réimsí polytype | Dada | Achar carnach ≤20% | Achar carnach ≤30% |
| Marcáil léasair tosaigh | Dada | ||
| Cáilíocht Ar Ais | |||
| Críoch ar ais | C-aghaidh CMP | ||
| scratches | ≤5ea/mm, Fad carnach≤2* Trastomhas | NA | |
| Lochtanna cúil (sliseanna imeall/fleasc) | Dada | ||
| Ar ais roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Marcáil léasair ar ais | 1 mm (ón imeall barr) | ||
| Imeall | |||
| Imeall | Chamfer | ||
| Pacáistiú | |||
| Pacáistiú | Epi-réidh le pacáistiú i bhfolús Pacáistiú caiséad il-wafer | ||
| *Nótaí: ciallaíonn "NA" aon iarratas Féadfaidh míreanna nach luaitear tagairt a dhéanamh do SEMI-STD. | |||
