Bád Grafite Isostatach PECVD

Íomhá Réadmhaoin Bád Graphite Isostatach PECVD

Cur síos gairid:

Úsáidtear bád grafite PECVD Isostatach go forleathan i naisc éagsúla de mhonarú leathsheoltóra, mar shampla taisceadh scannán polasilicon, taisceadh scannán ocsaíd, taisceadh scannáin nítríde, etc. Déanann a fheidhmíocht den scoth é ina iompróir wafer idéalach sa phróiseas PECVD.

Seol ríomhphost chugainn

Sonraí Táirge

Clibeanna Táirge

Is táirge ard-íonachta, ard-dlúis graifíte é bád graifíte isostatach SEMICERA atá deartha le haghaidh tacaíochta sliseog sa phróiseas PECVD (taiscí gaile ceimiceach feabhsaithe plasma). Úsáideann SEMICERA teicneolaíocht brú isostatach chun cinn chun a chinntiú go bhfuil friotaíocht ardteochta den scoth, friotaíocht creimeadh, cobhsaíocht tríthoiseach agus seoltacht theirmeach maith ag an mbád graifíte, rud atá fíor-riachtanach sa phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra.

Tá na buntáistí seo a leanas ag bád grafite isostatach SEMICERA PECVD:

▪ Ard-íonacht: Tá an t-ábhar graifíte ard-íonachta agus cion íseal eisíontais chun éilliú an dromchla wafer a sheachaint.

▪ Ard-dlús: Is féidir le dlús ard, neart meicniúil ard, teocht ard agus timpeallacht ardfholús a sheasamh.

▪ Cobhsaíocht mhaith tríthoiseach: Athrú beag tríthoiseach ag teocht ard chun cobhsaíocht an phróisis a chinntiú.

▪ Seoltacht theirmeach den scoth: Aistrigh an teas go héifeachtach chun róthéamh sliseog a chosc.

▪ Friotaíocht láidir creimeadh: In ann cur i gcoinne creimeadh ag gás creimneach éagsúla agus plasma.

Paraiméadar feidhmíochta	leathchraic	SGL R6510	Paraiméadar feidhmíochta
Bulcdlús (g/cm3)	1. 91	1.83	1.85
Neart lúbthachta (MPa)	63	60	49
Neart comhbhrúiteach (MPa)	135	130	103
Cruas an Chladaigh (HS)	70	64	60
Comhéifeacht leathnú teirmeach （10-6/K）	85	105	130
Comhéifeacht leathnú teirmeach （10-6/K）	5.85	4.2	5.0
Friotaíocht (μΩm)	11-13	13	10

Buntáistí a bhaineann linn a roghnú:
▪ Roghnú ábhar: Úsáidtear ábhair graifíte ard-íonachta chun cáilíocht an táirge a chinntiú.
▪ Teicneolaíocht phróiseála: Úsáidtear brú iseastatach chun dlús agus aonfhoirmeacht an táirge a chinntiú.
▪ Saincheapadh méid: Is féidir báid graphite de mhéideanna agus cruthanna éagsúla a shaincheapadh de réir riachtanais an chustaiméara.
▪ Cóireáil dromchla: Soláthraítear éagsúlacht de mhodhanna cóireála dromchla, mar shampla chomhdhúile sileacain sciath, nítríde bórón, etc., chun freastal ar riachtanais phróisis éagsúla.