Réamhrá le Cumhdach Carbide Sileacain
Is ciseal an-mharthanach agus caitheamh-resistant é ár sciath Taiscí Gaile Ceimiceach (CVD) Sileacan Carbide (SiC), atá oiriúnach do thimpeallachtaí a éilíonn ardchreimeadh agus friotaíocht teirmeach.Sciath Carbide SileacainCuirtear i bhfeidhm i sraitheanna tanaí ar fhoshraitheanna éagsúla tríd an bpróiseas CVD, ag tairiscint saintréithe feidhmíochta níos fearr.
Príomhghnéithe
● -Eisceachtúla íonachta: Boasting comhdhéanamh ultra-íon de99.99995%, ársciath SiCíoslaghdaíonn sé rioscaí éillithe in oibríochtaí íogaire leathsheoltóra.
● -Superior Friotaíocht: Taispeánann sé friotaíocht den scoth maidir le caitheamh agus creimeadh, rud a fhágann go bhfuil sé foirfe do shuímh dhúshlánacha ceimiceacha agus plasma.
● -Ardseoltacht Teirmeach: Cinntíonn sé feidhmíocht iontaofa faoi theocht mhór mar gheall ar a n-airíonna teirmeacha den scoth.
● -Cobhsaíocht Toiseach: Coinníonn sé sláine struchtúrach thar raon teochta leathan, a bhuíochas dá chomhéifeacht leathnú teirmeach íseal.
● -Cruas Feabhsaithe: Le rátáil cruas de40 GPa, Seasann ár sciath SiC tionchar suntasach agus scríobadh.
● -Críochnaigh Dromchla Smooth: Soláthraíonn sé bailchríoch cosúil le scáthán, ag laghdú giniúint na gcáithníní agus ag feabhsú éifeachtúlacht oibriúcháin.
Feidhmchláir
leathmhior Cótaí SiCa úsáidtear i gcéimeanna éagsúla de mhonarú leathsheoltóra, lena n-áirítear:
● -Déantúsaíocht sliseanna stiúir
● -Táirgeadh Polysilicon
● -Fás Criostail Leathsheoltóra
● -Silicon agus SiC Epitaxy
● -Ocsaídiú Teirmeach agus Idirleathadh (TO&D)
Soláthraímid comhpháirteanna atá brataithe le SiC atá déanta as graifít iseastatach ard-neart, carbóin treisithe le snáithín carbóin agus cairbíd sileacain athchriostalaithe 4N, atá oiriúnaithe d'imoibreoirí leaba sreabhánaithe,Tiontairí STC-TCS, frithchaiteoirí aonaid CZ, bád sliseog SiC, paddle SiCwafer, feadán wafer SiC, agus iompróirí wafer a úsáidtear i bpróisis PECVD, epitaxy sileacain, MOCVD.
Sochair
● -Saoile Breisithe: Laghdaíonn sé go suntasach downtime trealaimh agus costais chothabhála, feabhas a chur ar éifeachtacht iomlán táirgthe.
● -Cáilíocht Feabhsaithe: A bhaint amach dromchlaí ard-íonachta atá riachtanach do phróiseáil leathsheoltóra, rud a threisiú cáilíocht an táirge.
● -Éifeachtúlacht Mhéadaithe: Optimizes próisis teirmeach agus CVD, a eascraíonn i amanna timthriall níos giorra agus táirgeacht níos airde.
Sonraíochtaí Teicniúla
● -Struchtúr: FCC β chéim polycrystaline, den chuid is mó (111) dírithe
● -Dlús: 3.21 g / cm³
● -Cruas: cruas 2500 Vicks (ualach 500g)
● -Fracture Toughness: 3.0 MPa·m1/2
● - Comhéifeacht Leathnú Teirmeach (100–600 °C): 4.3×10-6k-1
● - Modal Leaisteacha (1300 ℃):435 GPa
● -Tiús Scannán tipiciúla:100 µm
● -Roughness Dromchla:2-10 µm
Sonraí Íonachta (arna Thomhas ag Mais-Speictreascópacht Scaoilte Glow)
| Eilimint | ppm | Eilimint | ppm |
| Li | < 0. 001 | Cu | < 0. 01 |
| Be | < 0. 001 | Zn | < 0. 05 |
| Al | < 0. 04 | Ga | < 0. 01 |
| P | < 0. 01 | Ge | < 0. 05 |
| S | < 0. 04 | As | < 0. 005 |
| K | < 0. 05 | In | < 0. 01 |
| Ca | < 0. 05 | Sn | < 0. 01 |
| Ti | < 0. 005 | Sb | < 0. 01 |
| V | < 0. 001 | W | < 0. 05 |
| Cr | < 0. 05 | Te | < 0. 01 |
| Mn | < 0. 005 | Pb | < 0. 01 |
| Fe | < 0. 05 | Bi | < 0. 05 |
| Ni | < 0. 01 |
|
