6 Inch n-cineál tsubstráit sic

Cur síos gairid:

Is ábhar leathsheoltóra é substráit SiC 6-orlach n-cineál‌ arb é is sainairíonna é úsáid a bhaint as méid wafer 6-orlach, rud a mhéadaíonn líon na bhfeistí is féidir a tháirgeadh ar wafer amháin thar achar dromchla níos mó, rud a laghdóidh costais ar leibhéal na feiste. . Bhain forbairt agus cur i bhfeidhm foshraitheanna SiC 6 orlach n-cineál tairbhe as dul chun cinn teicneolaíochtaí cosúil le modh fáis an RAF, rud a laghdaíonn dislocations trí chriostail a ghearradh ar feadh díláithrithe agus treoracha comhthreomhara agus criostail a athfhás, rud a fheabhsóidh cáilíocht an tsubstráit. Tá tábhacht mhór ag cur i bhfeidhm an tsubstráit seo chun éifeachtacht táirgthe a fheabhsú agus costais feistí cumhachta SiC a laghdú.

Seol ríomhphost chugainn

Sonraí Táirge

Clibeanna Táirge

Tá leithead bearna banna mór ag ábhar criostail aonair chomhdhúile sileacain (SiC) (~ Si 3 huaire), seoltacht ard teirmeach (~ Si 3.3 huaire nó GaAs 10 n-uaire), ráta ard imirce saturation leictreon (~ Si 2.5 uair), miondealú ard leictreach réimse (~ Si 10 n-uaire nó GaAs 5 huaire) agus tréithe eile den scoth.

Áirítear ar na hábhair leathsheoltóra tríú glúin go príomha SiC, GaN, Diamond, etc., toisc go bhfuil a leithead bearna banna (Eg) níos mó ná nó cothrom le 2.3 volta leictreon (eV), ar a dtugtar ábhair leathsheoltóra bearna leathan bhearna freisin. I gcomparáid leis na hábhair leathsheoltóra den chéad agus an dara glúin, tá na buntáistí a bhaineann le seoltacht ard teirmeach ag baint le hábhair leathsheoltóra an tríú glúin, réimse leictreach ard-bhriseadh, ráta imirce leictreon ard sáithithe agus fuinneamh ard nascáil, ar féidir leo freastal ar riachtanais nua na teicneolaíochta leictreonaí nua-aimseartha le haghaidh ard. teocht, ardchumhacht, brú ard, minicíocht ard agus friotaíocht radaíochta agus coinníollacha crua eile. Tá ionchais iarratais thábhachtacha aige i réimsí cosanta náisiúnta, eitlíochta, aeraspáis, taiscéalaíochta ola, stóráil optúil, etc., agus féadann sé caillteanas fuinnimh a laghdú níos mó ná 50% i go leor tionscail straitéiseacha mar chumarsáid leathanbhanda, fuinneamh na gréine, déantúsaíocht gluaisteán, soilsiú leathsheoltóra, agus greille cliste, agus féadann sé méid trealaimh a laghdú níos mó ná 75%, rud a bhfuil tábhacht cloch mhíle aige maidir le forbairt na heolaíochta agus na teicneolaíochta daonna.

Is féidir le fuinneamh Semicera substráit chomhdhúile sileacain Seoltach (Seoltach), Leath-inslithe (Leath-inslithe), HPSI (Leath-inslithe Ard-íonachta) a sholáthar do chustaiméirí; Ina theannta sin, is féidir linn bileoga epitaxial chomhdhúile sileacain aonchineálach agus ilchineálach a sholáthar do chustaiméirí; Is féidir linn an leathán epitaxial a shaincheapadh freisin de réir riachtanais shonracha na gcustaiméirí, agus níl aon chainníocht íosta ordú ann.

SONRAÍOCHTAÍ BUNÚSACHA TÁIRGE

Méid	6-orlach
Trastomhas	150.0mm+0mm/-0.2mm
Treoshuíomh Dromchla	as-ais:4° i dtreo<1120>±0.5°
Fad Maol Bunscoile	47.5mm1.5 mm
Treoshuíomh Maol Bunscoile	<1120>±1.0°
Árasán Tánaisteach	Dada
Tiús	350.0um ± 25.0um
Polytype	4H
Cineál Seolta	n-cineál

SONRAÍOCHTAÍ CÁILÍOCHTA CRYSTAL

6-orlach
Mír	Grád P-MOS	Grád P-SBD
Friotaíocht	0.015Ω·cm-0.025Ω·cm
Polytype	Níl aon cheann ceadaithe
Dlús Micripíopa	≤0.2/cm2	≤0.5/cm2
EPD	≤4000/cm2	≤8000/cm2
TED	≤3000/cm2	≤6000/cm2
BPD	≤1000/cm2	≤2000/cm2
TSD	≤300/cm2	≤1000/cm2
SF(Tomhais ag UV-PL-355nm)	≤0.5% limistéar	≤1% limistéar
Plátaí heicsidheachúlach ag solas ard-déine	Níl aon cheann ceadaithe
Cuimsithe Carbóin Amhairc ag solas ard-déine	Réimse carnach≤0.05%