Tá Wafers Semi-Inslithe HPSI SiC 6 Inch Semicera deartha chun freastal ar dhianéilimh na teicneolaíochta leathsheoltóra nua-aimseartha. Le híonacht agus comhsheasmhacht eisceachtúil, feidhmíonn na sliseoga seo mar bhunús iontaofa chun comhpháirteanna leictreonacha ard-éifeachtúlachta a fhorbairt.
Tá cáil ar na sliseoga HPSI SiC seo as a seoltacht theirmeach den scoth agus insliú leictreachais, atá ríthábhachtach chun feidhmíocht gléasanna cumhachta agus ciorcaid ard-minicíochta a bharrfheabhsú. Cuidíonn na hairíonna leath-inslithe le trasnaíocht leictreach a íoslaghdú agus le héifeachtúlacht gléas a uasmhéadú.
Cinntíonn an próiseas déantúsaíochta ardcháilíochta a úsáideann Semicera go bhfuil tiús aonfhoirmeach agus lochtanna dromchla íosta ag gach wafer. Tá an cruinneas seo riachtanach d'iarratais chun cinn cosúil le feistí minicíochta raidió, inverters cumhachta, agus córais LED, áit a bhfuil feidhmíocht agus marthanacht ina bpríomhfhachtóirí.
Trí theicnící táirgthe úrscothacha a ghiaráil, soláthraíonn Semicera sliseog ní hamháin a shásaíonn caighdeáin tionscail ach a sháraíonn. Tugann an méid 6 orlach solúbthacht maidir le táirgeadh a mhéadú, ag freastal ar fheidhmchláir taighde agus tráchtála san earnáil leathsheoltóra.
Ciallaíonn Roghnú Wafers Semi-Inslithe HPSI SiC 6 Inch Semicera infheistíocht a dhéanamh i dtáirge a sheachadann cáilíocht agus feidhmíocht chomhsheasmhach. Tá na sliseoga seo mar chuid de thiomantas Semicera maidir le cumais na teicneolaíochta leathsheoltóra a chur chun cinn trí ábhair nuálacha agus trí cheardaíocht mhionsonraithe.
| Míreanna | Táirgeadh | Taighde | Caochadán |
| Paraiméadair Criostail | |||
| Polytype | 4H | ||
| Earráid treoshuímh dromchla | <11-20 >4±0.15° | ||
| Paraiméadair Leictreacha | |||
| Dopant | n-cineál Nítrigine | ||
| Friotaíocht | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paraiméadair Mheicniúla | |||
| Trastomhas | 150.0±0.2mm | ||
| Tiús | 350 ±25 μm | ||
| Treoshuíomh cothrom bunscoile | [1-100]±5° | ||
| Fad comhréidh bunscoile | 47.5 ± 1.5mm | ||
| Árasán tánaisteach | Dada | ||
| teilifís | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Dlúth | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Garbhacht tosaigh (Si-aghaidh) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struchtúr | |||
| Dlús micreaphíopaí | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Neamhíonachtaí miotail | ≤5E10adamh/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500ea/cm2 | ≤3000ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000ea/cm2 | NA |
| Cáilíocht Tosaigh | |||
| Tosaigh | Si | ||
| Críochnú dromchla | Si-aghaidh CMP | ||
| Cáithníní | ≤60ea/wafer (méid≥0.3μm) | NA | |
| scratches | ≤5ea/mm. Fad carnach ≤ Trastomhas | Fad carnach≤2* Trastomhas | NA |
| Craiceann oráiste / claiseanna / stains / stríoca / scoilteanna / éilliú | Dada | NA | |
| Sceallóga imill / fleasc / briste / plátaí heicsidheachúlach | Dada | ||
| Réimsí polytype | Dada | Achar carnach ≤20% | Achar carnach ≤30% |
| Marcáil léasair tosaigh | Dada | ||
| Cáilíocht Ar Ais | |||
| Críoch ar ais | C-aghaidh CMP | ||
| scratches | ≤5ea/mm, Fad carnach≤2* Trastomhas | NA | |
| Lochtanna cúil (sliseanna imeall/fleasc) | Dada | ||
| Ar ais roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Marcáil léasair ar ais | 1 mm (ón imeall barr) | ||
| Imeall | |||
| Imeall | Chamfer | ||
| Pacáistiú | |||
| Pacáistiú | Epi-réidh le pacáistiú i bhfolús Pacáistiú caiséad il-wafer | ||
| *Nótaí: ciallaíonn "NA" aon iarratas Féadfaidh míreanna nach luaitear tagairt a dhéanamh do SEMI-STD. | |||
