Foshraith SiC de chineál N 6 Orlach

Cur síos gairid:

Tairgeann Semicera raon leathan sliseog SiC 4H-8H.Le blianta fada anuas, táimid ag monaróir agus ag soláthraí táirgí do na tionscail leathsheoltóra agus fótavoltach.I measc ár bpríomhtháirgí tá: plátaí eitse chomhdhúile sileacain, leantóirí bád chomhdhúile sileacain, báid sliseog chomhdhúile sileacain (PV & Leathsheoltóra), feadáin foirnéise chomhdhúile sileacain, paddles cantilever chomhdhúile sileacain, chucks chomhdhúile sileacain, bíomaí chomhdhúile sileacain, chomh maith le bratuithe CVD SiC agus Bratuithe TaC.Clúdaíonn sé an chuid is mó de mhargaí na hEorpa agus Mheiriceá.Táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.

 

Sonraí Táirge

Clibeanna Táirge

Tá leithead bearna banna mór ag ábhar criostail aonair chomhdhúile sileacain (SiC) (~ Si 3 huaire), seoltacht ard teirmeach (~ Si 3.3 huaire nó GaAs 10 n-uaire), ráta ard imirce saturation leictreon (~ Si 2.5 uair), miondealú ard leictreach réimse (~ Si 10 n-uaire nó GaAs 5 huaire) agus tréithe eile den scoth.

Áirítear ar na hábhair leathsheoltóra tríú glúin go príomha SiC, GaN, Diamond, etc., toisc go bhfuil a leithead bearna banna (Eg) níos mó ná nó cothrom le 2.3 volta leictreon (eV), ar a dtugtar ábhair leathsheoltóra bearna leathan bhearna freisin.I gcomparáid leis na hábhair leathsheoltóra den chéad agus an dara glúin, tá na buntáistí a bhaineann le seoltacht ard teirmeach ag baint le hábhair leathsheoltóra an tríú glúin, réimse leictreach ard-bhriseadh, ráta imirce leictreon ard sáithithe agus fuinneamh ard nascáil, ar féidir leo freastal ar riachtanais nua na teicneolaíochta leictreonaí nua-aimseartha le haghaidh ard. teocht, ardchumhacht, brú ard, minicíocht ard agus friotaíocht radaíochta agus coinníollacha crua eile.Tá ionchais iarratais thábhachtacha aige i réimsí cosanta náisiúnta, eitlíochta, aeraspáis, taiscéalaíochta ola, stóráil optúil, etc., agus féadann sé caillteanas fuinnimh a laghdú níos mó ná 50% i go leor tionscail straitéiseacha mar chumarsáid leathanbhanda, fuinneamh na gréine, déantúsaíocht gluaisteán, soilsiú leathsheoltóra, agus greille cliste, agus féadann sé méid trealaimh a laghdú níos mó ná 75%, rud a bhfuil tábhacht cloch mhíle aige maidir le forbairt na heolaíochta agus na teicneolaíochta daonna.

Is féidir le fuinneamh Semicera substráit chomhdhúile sileacain Seoltach (Seoltach), Leath-inslithe (Leath-inslithe), HPSI (Leath-inslithe Ard-íonachta) a sholáthar do chustaiméirí;Ina theannta sin, is féidir linn bileoga epitaxial chomhdhúile sileacain aonchineálach agus ilchineálach a sholáthar do chustaiméirí;Is féidir linn an leathán epitaxial a shaincheapadh freisin de réir riachtanais shonracha na gcustaiméirí, agus níl aon chainníocht íosta ordú ann.

Míreanna

Táirgeadh

Taighde

Caochadán

Paraiméadair Criostail

Polytype

4H

Earráid treoshuímh dromchla

<11-20 >4±0.15°

Paraiméadair Leictreacha

Dopant

n-cineál Nítrigine

Friotaíocht

0.015-0.025ohm·cm

Paraiméadair Mheicniúla

Trastomhas

150.0±0.2mm

Tiús

350 ±25 μm

Treoshuíomh cothrom bunscoile

[1-100]±5°

Fad comhréidh bunscoile

47.5 ± 1.5mm

Árasán tánaisteach

Dada

teilifís

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm(5mm*5mm)

≤5 μm(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

Bow

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Dlúth

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Garbhacht tosaigh (Si-aghaidh) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Struchtúr

Dlús micreaphíopaí

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Neamhíonachtaí miotail

≤5E10adamh/cm2

NA

BPD

≤1500ea/cm2

≤3000ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000ea/cm2

NA

Cáilíocht Tosaigh

Tosaigh

Si

Críochnú dromchla

Si-aghaidh CMP

Cáithníní

≤60ea/wafer (méid≥0.3μm)

NA

scratches

≤5ea/mm.Fad carnach ≤ Trastomhas

Fad carnach≤2* Trastomhas

NA

Craiceann oráiste / claiseanna / stains / stríoca / scoilteanna / éilliú

Dada

NA

Sceallóga imill / fleasc / briste / plátaí heicsidheachúlach

Dada

Réimsí polytype

Dada

Achar carnach ≤20%

Achar carnach ≤30%

Marcáil léasair tosaigh

Dada

Cáilíocht Ar Ais

Críoch ar ais

C-aghaidh CMP

scratches

≤5ea/mm, Fad carnach≤2* Trastomhas

NA

Lochtanna cúil (sliseanna imeall/fleasc)

Dada

Ar ais roughness

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Marcáil léasair ar ais

1 mm (ón imeall barr)

Imeall

Imeall

Chamfer

Pacáistiú

Pacáistiú

Epi-réidh le pacáistiú i bhfolús

Pacáistiú caiséad il-wafer

*Nótaí: ciallaíonn "NA" aon iarratas Féadfaidh míreanna nach luaitear tagairt a dhéanamh do SEMI-STD.

tech_1_2_méid
sliseog SiC

Ionad Oibre Semicera Ionad oibre leathcheann 2 Meaisín trealaimh Próiseáil CNN, glanadh ceimiceach, sciath CVD Ár seirbhís


  • Roimhe Seo:
  • Ar Aghaidh: