Tá Tinní SiC Leath-Inslithe Ardíonachta 4” 6” Semicera deartha chun caighdeáin dhian an tionscail leathsheoltóra a chomhlíonadh. Déantar na dtinní seo a tháirgeadh le fócas ar íonacht agus comhsheasmhacht, rud a fhágann gur rogha iontach iad d'fheidhmchláir ardchumhachta agus ard-minicíochta nuair a bhíonn feidhmíocht ríthábhachtach.
Mar gheall ar airíonna uathúla na dtinní SiC seo, lena n-áirítear seoltacht ard teirmeach agus friotachas leictreach den scoth, tá siad thar a bheith feiliúnach le húsáid i bhfeistí leictreonaice cumhachta agus micreathonn. Ceadaíonn a nádúr leath-inslithe do dhiomailt teasa éifeachtach agus cur isteach íosta leictreach, as a dtagann comhpháirteanna níos éifeachtaí agus níos iontaofa.
Fostaíonn Semicera próisis déantúsaíochta úrscothacha chun tinní a tháirgeadh a bhfuil cáilíocht agus aonfhoirmeacht criostail eisceachtúil acu. Cinntíonn an cruinneas seo gur féidir gach tinne a úsáid go hiontaofa in iarratais íogaire, mar aimplitheoirí ard-minicíochta, dé-óid léasair, agus gléasanna optoelectronic eile.
Ar fáil i méideanna 4-orlach agus 6-orlach araon, soláthraíonn tinní SiC Semicera an tsolúbthacht atá ag teastáil le haghaidh scálaí táirgeachta éagsúla agus riachtanais teicneolaíochta. Cibé acu le haghaidh taighde agus forbartha nó olltáirgeadh, seachadann na dtinní seo an fheidhmíocht agus an marthanacht a éilíonn córais leictreonacha nua-aimseartha.
Trí Thinní SiC Leath-Inslithe Ard-íonachta Semicera a roghnú, tá tú ag infheistiú i dtáirge a chomhcheanglaíonn ardeolaíocht ábhair le saineolas déantúsaíochta gan sárú. Tá Semicera tiomanta do thacú le nuálaíocht agus fás an tionscail leathsheoltóra, ag tairiscint ábhair a chumasaíonn forbairt feistí leictreonacha ceannródaíocha.
| Míreanna | Táirgeadh | Taighde | Caochadán |
| Paraiméadair Criostail | |||
| Polytype | 4H | ||
| Earráid treoshuímh dromchla | <11-20 >4±0.15° | ||
| Paraiméadair Leictreacha | |||
| Dopant | n-cineál Nítrigine | ||
| Friotaíocht | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paraiméadair Mheicniúla | |||
| Trastomhas | 150.0±0.2mm | ||
| Tiús | 350 ±25 μm | ||
| Treoshuíomh cothrom bunscoile | [1-100]±5° | ||
| Fad comhréidh bunscoile | 47.5 ± 1.5mm | ||
| Árasán tánaisteach | Dada | ||
| teilifís | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Dlúth | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Garbhacht tosaigh (Si-aghaidh) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struchtúr | |||
| Dlús micreaphíopaí | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Neamhíonachtaí miotail | ≤5E10adamh/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500ea/cm2 | ≤3000ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000ea/cm2 | NA |
| Cáilíocht Tosaigh | |||
| Tosaigh | Si | ||
| Críochnú dromchla | Si-aghaidh CMP | ||
| Cáithníní | ≤60ea/wafer (méid≥0.3μm) | NA | |
| scratches | ≤5ea/mm. Fad carnach ≤ Trastomhas | Fad carnach≤2* Trastomhas | NA |
| Craiceann oráiste / claiseanna / stains / stríoca / scoilteanna / éilliú | Dada | NA | |
| Sceallóga imill / fleasc / briste / plátaí heicsidheachúlach | Dada | ||
| Réimsí polytype | Dada | Achar carnach ≤20% | Achar carnach ≤30% |
| Marcáil léasair tosaigh | Dada | ||
| Cáilíocht Ar Ais | |||
| Críoch ar ais | C-aghaidh CMP | ||
| scratches | ≤5ea/mm, Fad carnach≤2* Trastomhas | NA | |
| Lochtanna cúil (sliseanna imeall/fleasc) | Dada | ||
| Ar ais roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Marcáil léasair ar ais | 1 mm (ón imeall barr) | ||
| Imeall | |||
| Imeall | Chamfer | ||
| Pacáistiú | |||
| Pacáistiú | Epi-réidh le pacáistiú i bhfolús Pacáistiú caiséad il-wafer | ||
| *Nótaí: ciallaíonn "NA" aon iarratas Féadfaidh míreanna nach luaitear tagairt a dhéanamh do SEMI-STD. | |||
