Comhdhúile tantalam (TaC)Is ábhar ceirmeach resistant teocht ard-ard é leis na buntáistí a bhaineann le leáphointe ard, cruas ard, cobhsaíocht mhaith ceimiceach, seoltacht láidir leictreach agus teirmeach, etc.Cumhdach TaCa úsáid mar sciath ablation-resistant, sciath ocsaídiúcháin-resistant, agus caitheamh-resistant sciath, agus a úsáidtear go forleathan i cosaint teirmeach aeraspáis, tríú glúin leathsheoltóra fás criostail aonair, leictreonaic fuinnimh agus réimsí eile.
Próiseas:
Comhdhúile tantalam (TaC)Is cineál ábhar ceirmeach resistant teocht ultra-ard é leis na buntáistí a bhaineann le leáphointe ard, cruas ard, cobhsaíocht mhaith ceimiceach, seoltacht láidir leictreach agus teirmeach. Dá bhrí sin,Cumhdach TaCa úsáid mar sciath ablation-resistant, sciath ocsaídiúcháin-resistant, agus caitheamh-resistant sciath, agus a úsáidtear go forleathan i cosaint teirmeach aeraspáis, tríú glúin leathsheoltóra fás criostail aonair, leictreonaic fuinnimh agus réimsí eile.
Tréithriú intreach bratuithe:
Bainimid úsáid as an modh shintéirithe sciodair chun ullmhúBratuithe TaCde thiúis éagsúla ar fhoshraitheanna graifíte de mhéideanna éagsúla. Gcéad dul síos, tá púdar ard-íonachta ina bhfuil foinse Ta agus foinse C cumraithe le scaiptheoir agus ceanglóra chun sciodar réamhtheachtaithe aonfhoirmeach agus cobhsaí a fhoirmiú. Ag an am céanna, de réir mhéid na gcodanna graifíte agus riachtanais tiús naCumhdach TaC, ullmhaítear an réamh-sciath trí spraeáil, doirteadh, insíothlú agus foirmeacha eile. Mar fhocal scoir, téitear go dtí os cionn 2200 ℃ i dtimpeallacht folúis chun aonfhoirmeach, dlúth, aon-chéim, agus dea-criostalach a ullmhúCumhdach TaC.
Tréithriú intreach bratuithe:
An tiús deCumhdach TaCtá thart ar 10-50 μm, fásann na gránaigh i dtreoshuíomh saor in aisce, agus tá sé comhdhéanta de TaC le struchtúr ciúbach aon-chéim atá dírithe ar aghaidh, gan neamhíonachtaí eile; tá an sciath dlúth, tá an struchtúr iomlán, agus tá an criostalacht ard.Cumhdach TaCis féidir leis na pores a líonadh ar dhromchla na graifíte, agus tá sé nasctha go ceimiceach leis an maitrís graifíte le neart nascáil ard. Tá an cóimheas Ta le C sa bhratú gar do 1:1. An caighdeán tagartha braite íonachta GDMS ASTM F1593, tá an tiúchan eisíontas níos lú ná 121ppm. Is é an meándiall uimhríochtúil (Ra) den phróifíl brataithe ná 662nm.
Feidhmchláir Ghinearálta:
GaN agusSiC epitaxialComhpháirteanna imoibreora CVD, lena n-áirítear iompróirí sliseog, miasa satailíte, cinn cithfholcadh, clúdaigh barr agus susceptors.
Comhpháirteanna fáis criostail SiC, GaN agus AlN, lena n-áirítear breogáin, sealbhóirí criostail síl, treoraithe sreafa agus scagairí.
Comhpháirteanna tionsclaíocha, lena n-áirítear eilimintí teasa resistive, soic, fáinní sciath agus daingneáin prásála.
Príomhghnéithe:
Cobhsaíocht teocht ard ag 2600 ℃
Soláthraíonn cosaint stáit seasta i dtimpeallachtaí ceimiceacha crua H2, NH3, SiH4agus Si gal
Oiriúnach do tháirgeadh mais le timthriallta táirgeachta gearr.
