Tabhairt isteach iompróir wafer
CATAGÓIR TÁIRGÍ
▶Córas Iompróir Wafer do Phróiseas PECVD & TALOX
• Bád Graifít PECVD & TALOX (M4~M12)
• Bád SM Ingearach (M4, M6)
• Páirt Graifíte Ionchlannaithe & Cith (M4~M6)
• Tráidire C/C & Cumhdach Ceirmeacha
• RIE-Tráidire Miotail & Cumhdach Ceirmeacha
• Séalaithe Fholúis: O-Ring & SQ-Ring
▶Próiseas Aistrithe Uigeachta & Eitseála Fhliucha
• Iompróir H LSC nó caiséad (M4~M12)
• Iompróir V LSC nó caiséad (M4~M12)
• Iompróir ASC nó caiséad (M4, M6)
• Iompróir W/F & Bosca Stórála (M4~M12)
• Sraith Rothaí Iompair (Rolaire).
▶Iompróir Ceall Gréine & Iompróir Miotail
• Iompróir TRC nó caiséad (M4~M12)
• Iris (le BELT)
Bád GRAPHITE (Cineál H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
Bád GRAPHITE (Cineál H)
21P6-240CT WF M4~M12)
Bád GRAPHITE (Cineál H)
23P7- 308CT(W/F M4~M12)
Bád GRAPHITE (Cineál H)
22P/7- 294TP (W/F M4~M12)
Bád GRAPHITE (Cineál H)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
IOMLÁN WF & BOSCA STÓRTHA (~M12)
C/C TRÁDÁLA nó iompróir (M4~M10)
C/C TRÁDÁLA nó iompróir (M4~M10)
Bád ingearach (SM) M6
LSC- H- Iompróir(~M12)
LSC- V- Iompróir(~M12)
Iompróir ASC (~M6)
Iompróir TRC(~M12)
Iompróir TRC(~M12)
GRAPHITE-BOAT(M12)
Córas Iompróir Wafer do Phróiseas PECVD
▶ Próiseas M10/M12 Bád GRAPHITE (Deartha CT).
• COINCHEAP DEARAIDH SPEISIALTA
▶ Próiseas M4/M6 Bád GRAPHITE (C-Deartha).
▶ Páirteanna Cúlpháirtí BOAT
▶ Bád ingearach-161.7mm WAFER
▶ Bád ingearach-166mm wafer
▶ Bád ingearach-161.7mm, WAFER 166mm
Iompróir Cille Gréine & Iompróir Miotail TRC
CINEÁL : Uathoibriú
MÉID WAFER : ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7×161.7MM ④ 166×166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
ÚSÁID : Déan (Caiséad)
CUMAS: 100 bileog
PÁIRC: 4.76mm/5.953mm/6.35mm
Toise : thart ar 559×220×220MM
Timpeall 712×260×260MM
BUNTÁISTE : Atmaisféar
ÁBHAR : Lasair, SIDE BAR-Alúmanam (anodizing)
SIDE PLATE-POM (frithstatach)
Clúdach an bhunbharra-EPDM/PU/VITON (ASE)