Tá anMOCVDTá modh ar cheann de na próisis is cobhsaí a úsáidtear sa tionscal faoi láthair chun scannáin tanaí criostalach aonair ardchaighdeáin a fhás, mar shampla epilayers InGaN aonchéime, ábhair III-N, agus scannáin leathsheoltóra le struchtúir tobair il-chandamach, agus tá tábhacht mhór aige sa monarú feistí leathsheoltóra agus optoelectronic.
Tá anCumhdóir MOCVD sciath SiCIs sealbhóir speisialaithe wafer é atá brataithe le cairbíd sileacain (SIC) le haghaidhepitaxial fás sa phróiseas sil-leagan ceimiceach gaile orgánach miotail (MOCVD).
Tá friotaíocht ceimiceach den scoth agus cobhsaíocht theirmeach den scoth ag an sciath SiC, rud a fhágann gur rogha iontach é d'fhorghabhálacha MOCVD a úsáidtear i bpróisis fáis epitaxial éilitheach.
Is príomh-chomhpháirt den phróiseas MOCVD an susceptor, atá ina phríomhghné chun aonfhoirmeacht agus cáilíocht na scannán tanaí a tháirgtear a chinntiú.
Cad is susceptor? Is comhpháirt speisialaithe é an susceptor a úsáidtear sa phróiseas MOCVD chun an tsubstráit ar a bhfuil an scannán tanaí a thaisceadh agus a théamh. Tá feidhmeanna iomadúla aige, lena n-áirítear fuinneamh leictreamaighnéadach a ionsú, é a thiontú go teas, agus an teas a dháileadh go cothrom ar an tsubstráit. Tá an téamh aonfhoirmeach seo riachtanach chun scannáin tanaí aonfhoirmeacha a fhás le tiús agus comhdhéanamh beacht.
Cineálacha susceptors:
1. Suceptors graifít: Is minic a bhíonn fostóirí graifíte brataithe le ciseal cosanta marcairbíd sileacain (SIC), atá ar eolas mar gheall ar a seoltacht teirmeach ard agus cobhsaíocht. Tá ansciath SiCsoláthraíonn sé dromchla crua, cosanta a chuireann in aghaidh creimeadh agus díghrádú ag teochtaí arda.
2. Suceptors chomhdhúile sileacain (SiC): Déantar na hionadóirí seo go hiomlán de SiC agus tá cobhsaíocht theirmeach den scoth agus friotaíocht caitheamh acu. Tá susceptors SiC oiriúnach go háirithe do phróisis ardteochta agus do thimpeallachtaí creimneach.
Conas a oibríonn susceptors i MOCVD:
Sa phróiseas MOCVD, tugtar réamhtheachtaithe isteach sa seomra imoibrithe áit a ndíscaoileann siad agus a imoibríonn siad chun scannán tanaí a dhéanamh ar an tsubstráit. Tá ról ríthábhachtach ag an susceptor trína chinntiú go ndéantar an tsubstráit a théamh go cothrom, rud atá ríthábhachtach chun airíonna scannáin comhsheasmhacha a bhaint amach ar fud dhromchla iomlán an tsubstráit. Roghnaítear ábhar agus dearadh an susceptor go cúramach chun freastal ar riachtanais shonracha an phróisis taisce, mar shampla raon teochta agus comhoiriúnacht cheimiceach.
Buntáistí a bhaineann le húsáid susceptóirí ardchaighdeáin:
• Cáilíocht scannáin fheabhsaithe: Trí dháileadh teasa aonfhoirmeach a sholáthar, cabhraíonn an susceptor scannáin a bhaint amach le tiús agus comhdhéanamh comhsheasmhach, rud atá ríthábhachtach maidir le feidhmíocht feistí leathsheoltóra.
• Éifeachtúlacht próisis fheabhsaithe: Méadaíonn súdairí ardcháilíochta éifeachtacht iomlán an phróisis MOCVD trí laghdú a dhéanamh ar an dóchúlacht go mbeidh lochtanna ann agus go dtiocfaidh méadú ar tháirgeacht scannán inúsáidte.
• Saolré agus iontaofacht: Cinntíonn súdairí déanta as ábhair mharthanacha mar SiC iontaofacht fhadtéarmach agus laghdaítear costais chothabhála.
Is cuid dhílis den phróiseas MOCVD é an susceptor agus bíonn tionchar díreach aige ar cháilíocht agus ar éifeachtúlacht taisce scannáin tanaí. Le haghaidh tuilleadh eolais ar mhéideanna atá ar fáil, susceptors MOCVD agus praghsanna, ná bíodh aon leisce ort teagmháil a dhéanamh linn. Beidh ár n-innealtóirí sásta comhairle a thabhairt duit maidir le hábhair oiriúnacha agus do cheisteanna go léir a fhreagairt.
Fón: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Am postála: Lúnasa-12-2024