Cad is epitaxy ann?

Níl cur amach ag formhór na n-innealtóirí arepitaxy, a bhfuil ról tábhachtach aige i ndéantúsaíocht gléas leathsheoltóra.Eipeasóida úsáid i dtáirgí sliseanna éagsúla, agus tá cineálacha éagsúla epitaxy ag táirgí éagsúla, lena n-áirítearSi epitaxy, SiC epitaxy, GaN epitaxy, etc.

Cad is epitaxy ann?
Tugtar “Epitaxy” ar Epitaxy go minic i mBéarla. Tagann an focal ó na focail Gréigise “epi” (a chiallaíonn “thuas”) agus “tacsaithe” (a chiallaíonn “socrú”). Mar a thugann an t-ainm le tuiscint, ciallaíonn sé socrú go néata ar bharr réad. Is é an próiseas epitaxy ná sraith tanaí criostail aonair a thaisceadh ar fhoshraith criostail amháin. Tugtar ciseal epitaxial ar an gciseal criostail aonair nua-thaisce seo.

Tá dhá phríomhchineál epitaxy ann: homoepitaxial agus heteroepitaxial. Tagraíonn homoepitaxial don ábhar céanna a fhás ar an gcineál céanna tsubstráit. Tá an struchtúr laitíse céanna go díreach ag an gciseal epitaxial agus an tsubstráit. Is éard atá i heteroepitaxy ná fás ábhar eile ar fhoshraith d’ábhar amháin. Sa chás seo, d'fhéadfadh struchtúr laitíse an chiseal criostail a fhástar go epitaxially agus an tsubstráit a bheith difriúil. Cad iad criostail aonair agus polycrystalline?
I leathsheoltóirí, is minic a chloisimid na téarmaí sileacain criostail aonair agus sileacain pholacriostalach. Cén fáth a dtugtar criostail aonair ar roinnt sileacain agus ar roinnt sileacain ar a dtugtar polycrystalline?

Criostail aonair: Tá an socrú laitíse leanúnach agus gan athrú, gan teorainneacha gráin, is é sin, tá an criostail iomlán comhdhéanta de laitís amháin le treoshuíomh criostail comhsheasmhach. Polycrystalline: Tá polycrystalline comhdhéanta de go leor grán beag, gach ceann acu ina chriostail aonair, agus tá a dtreochtaí randamach i leith a chéile. Tá na gráin seo scartha ag teorainneacha gráin. Tá costas táirgthe na n-ábhar polycrystalline níos ísle ná mar a bhaineann le criostail aonair, agus mar sin tá siad fós úsáideach i roinnt iarratais. Cá mbeidh an próiseas epitaxial i gceist?
I ndéanamh ciorcaid chomhtháite sileacain-bhunaithe, úsáidtear an próiseas epitaxial go forleathan. Mar shampla, úsáidtear epitaxy sileacain chun ciseal sileacain íon agus mínrialaithe a fhás ar fhoshraith sileacain, rud atá thar a bheith tábhachtach chun ciorcaid chomhtháite chun cinn a mhonarú. Ina theannta sin, i bhfeistí cumhachta, is dhá ábhar leathsheoltóra bandgap leathan a úsáidtear go coitianta iad SiC agus GaN le cumas láimhseála cumhachta den scoth. De ghnáth déantar na hábhair seo a fhás ar sileacain nó ar fhoshraitheanna eile trí epitaxy. I gcumarsáid chandamach, de ghnáth úsáideann giotán chandamach leathsheoltóra-bhunaithe struchtúir epitaxial gearmáiniam sileacain. Etc.

Modhanna fáis epitaxial?

Trí mhodh epitaxy leathsheoltóra a úsáidtear go coitianta:

Epitaxy bhíoma mhóilíneach (MBE): Is teicneolaíocht fáis epitaxial leathsheoltóra é epitaxy bhíoma mhóilíneach (MBE) a dhéantar faoi choinníollacha folúis ultra-ard. Sa teicneolaíocht seo, déantar an bunábhar a ghalú i bhfoirm adamh nó bíomaí móilíneacha agus ansin é a thaisceadh ar fhoshraith criostalach. Is teicneolaíocht fáis scannán tanaí leathsheoltóra an-bheacht agus inrialaithe é MBE a fhéadfaidh tiús an ábhair taiscthe a rialú go beacht ag an leibhéal adamhach.

CVD orgánach miotail (MOCVD): Sa phróiseas MOCVD, soláthraítear miotail orgánacha agus gáis hidríde ina bhfuil na heilimintí riachtanacha don tsubstráit ag teocht chuí, agus gintear na hábhair leathsheoltóra riachtanacha trí imoibrithe ceimiceacha agus a thaisceadh ar an tsubstráit, agus an chuid eile scaoiltear comhdhúile agus táirgí imoibrithe.

Vapor Phase Epitaxy (VPE): Is teicneolaíocht thábhachtach é Vapor Phase Epitaxy a úsáidtear go coitianta i dtáirgeadh feistí leathsheoltóra. Is é an bunphrionsabal atá aige ná gal substainte nó cumaisc amháin a iompar i ngás iompróra agus criostail a thaisceadh ar fhoshraith trí imoibrithe ceimiceacha.