Seo a leanas an chaoi a dtugaimid céimeanna próiseála do fhoshraitheanna SiC:
1. Treoshuíomh Criostail: Díraonta X-gha a úsáid chun an tinne criostail a threorú.Nuair a bhíonn beam X-gha dírithe ar an aghaidh criostail atá ag teastáil, cinneann uillinn an bhíoma díraonta an treoshuíomh criostail.
2. Meilt Trastomhas Amuigh: Is minic a sháraíonn criostail aonair a fhástar i breogáin graifíte na trastomhais chaighdeánacha.Laghdaíonn meilt trastomhas seachtrach iad go méideanna caighdeánacha.
Meilt Aghaidh Deiridh: De ghnáth bíonn dhá imeall suite ag foshraitheanna 4-orlach 4H-SiC, príomhúil agus tánaisteach.Osclaíonn meilt aghaidh deiridh na himill shuímh seo.
3. Sábhadh Sreang: Is céim ríthábhachtach é sábhadh sreang chun foshraitheanna 4H-SiC a phróiseáil.Bíonn tionchar diúltach ag scoilteanna agus damáiste don fhodhromchla a dhéantar le linn sábhadh sreinge ar phróisis ina dhiaidh sin, ag síneadh ama próiseála agus ina chúis le caillteanas ábhair.Is é an modh is coitianta ná sábhadh il-sreang le scríobach diamanta.Úsáidtear tairiscint chómhalartach de shreanga miotail atá nasctha le scríobaigh diamanta chun an tinne 4H-SiC a ghearradh.
4. Chamfering: Chun chipping imeall a chosc agus caillteanais inchaite a laghdú le linn próisis ina dhiaidh sin, déantar imill ghéar na sliseanna sábhála sreinge a chamfer le cruthanna sonraithe.
5. Tanú: Fágann sábhadh sreang go leor scratches agus damáiste fo-dhromchla.Déantar tanú trí úsáid a bhaint as rothaí diamanta chun na lochtanna seo a bhaint a oiread agus is féidir.
6. Meilt: Áirítear leis an bpróiseas seo meilt garbh agus meilt fíneáil ag baint úsáide as chomhdhúile bórón níos lú nó scríobaigh diamanta chun damáistí iarmharacha agus damáistí nua a tugadh isteach le linn tanaithe a bhaint.
7. Snasú: Is éard atá i gceist leis na céimeanna deiridh ná snasú garbh agus snasta fíneáil ag baint úsáide as scríobaigh alúmana nó ocsaíd sileacain.Bogann an leacht snasta an dromchla, a bhaintear ansin go meicniúil le scríobaigh.Cinntíonn an chéim seo dromchla réidh gan damáiste.
8. Glanadh: Cáithníní, miotail, scannáin ocsaíd, iarmhair orgánacha, agus ábhar salaithe eile a d'fhág na céimeanna próiseála a bhaint.
Am postála: Bealtaine-15-2024