Cad iad na príomhchéimeanna i bpróiseáil foshraitheanna SiC?

Seo a leanas an chaoi a dtugaimid céimeanna próiseála do fhoshraitheanna SiC:

1. Treoshuíomh Criostail: Díraonta X-gha a úsáid chun an tinne criostail a threorú. Nuair a bhíonn beam X-gha dírithe ar an aghaidh criostail atá ag teastáil, cinneann uillinn an bhíoma díraonta an treoshuíomh criostail.

2. Meilt Trastomhas Amuigh: Is minic a sháraíonn criostail aonair a fhástar i breogáin graifíte na trastomhais chaighdeánacha. Laghdaíonn meilt trastomhas seachtrach iad go méideanna caighdeánacha.

 

Meilt Aghaidhe 3.End: De ghnáth bíonn dhá imeall suite ag foshraitheanna 4H-SiC 4-orlach, bunscoile agus meánscoile. Osclaíonn meilt aghaidh deiridh na himill shuímh seo.

4. Sábhadh Sreang: Is céim ríthábhachtach é sábhadh sreang chun foshraitheanna 4H-SiC a phróiseáil. Bíonn tionchar diúltach ag scoilteanna agus damáiste don fhodhromchla a dhéantar le linn sábhadh sreinge ar phróisis ina dhiaidh sin, ag síneadh ama próiseála agus ina chúis le caillteanas ábhair. Is é an modh is coitianta ná sábhadh il-sreang le scríobach diamanta. Úsáidtear gluaisne chómhalartach de shreanga miotail atá nasctha le scríobaigh diamanta chun an tinne 4H-SiC a ghearradh.

5. Chamfering: Chun sliseanna imeall a chosc agus caillteanais inchaite a laghdú le linn próisis ina dhiaidh sin, déantar imill ghéar na sliseanna sábhála sreang a chamfered go cruthanna sonraithe.

6. Tanú: Fágann sábhadh sreang go leor scratches agus damáiste fo-dhromchla. Déantar tanú trí úsáid a bhaint as rothaí diamanta chun na lochtanna seo a bhaint a oiread agus is féidir.

7. Meilt: Áirítear leis an bpróiseas seo meilt garbh agus meilt fíneáil ag baint úsáide as chomhdhúile bórón níos lú nó scríobaigh diamanta chun damáistí iarmharacha agus damáistí nua a tugadh isteach le linn tanaithe a bhaint.

8. Snasú: Is éard atá i gceist leis na céimeanna deiridh ná snasú garbh agus snasta fíneáil ag baint úsáide as scríobaigh alúmana nó ocsaíd sileacain. Bogann an leacht snasta an dromchla, a bhaintear ansin go meicniúil le scríobaigh. Cinntíonn an chéim seo dromchla réidh gan damáiste.

9. Glanadh: Cáithníní, miotail, scannáin ocsaíd, iarmhair orgánacha, agus ábhar salaithe eile fágtha ó na céimeanna próiseála a bhaint.