Tá próisis fáis criostail ag croílár na monaraithe leathsheoltóra, áit a bhfuil sé ríthábhachtach sliseog ardcháilíochta a tháirgeadh. Cuid dhílis de na próisis seo is ea anBád sliseog cairbíde sileacain (SiC).. Tá aitheantas suntasach faighte ag báid sliseog SiC sa tionscal mar gheall ar a bhfeidhmíocht eisceachtúil agus a n-iontaofacht. San Airteagal seo, déanfaimid iniúchadh ar na tréithe suntasacha deBáid wafer SiCagus a ról maidir le fás criostail a éascú i ndéantúsaíocht leathsheoltóra.
Báid wafer SiCatá deartha go sonrach chun sliseog leathsheoltóra a shealbhú agus a iompar le linn céimeanna éagsúla fáis criostail. Mar ábhar, cuireann chomhdhúile sileacain meascán uathúil d'airíonna inmhianaithe a fhágann gur rogha iontach é do bháid wafer. Ar an gcéad dul síos tá a neart meicniúil den scoth agus cobhsaíocht ardteochta. Tá cruas agus righineacht den scoth ag SiC, rud a ligeann dó seasamh leis na coinníollacha foircneacha a bhíonn le linn próisis fáis criostail.
Buntáiste lárnach amháin deBáid wafer SiCis é a seoltacht theirmeach eisceachtúil. Is fachtóir ríthábhachtach é diomailt teasa i bhfás criostail, toisc go mbíonn tionchar aige ar aonfhoirmeacht teochta agus go seachnaíonn sé strus teirmeach ar na sliseoga. Éascaíonn seoltacht ard teirmeach SiC aistriú teasa éifeachtach, ag cinntiú dáileadh teochta comhsheasmhach ar fud na sliseog. Tá an tréith seo tairbheach go háirithe i bpróisis cosúil le fás epitaxial, áit a bhfuil rialú beacht teochta riachtanach chun sil-leagan aonfhoirmeach scannáin a bhaint amach.
Ina theannta sin,Báid wafer SiCinertness ceimiceach den scoth a thaispeáint. Tá siad resistant do raon leathan ceimiceán creimneach agus gáis a úsáidtear go coitianta i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Cinntíonn an chobhsaíocht cheimiceach seoBáid wafer SiCa n-ionracas agus a bhfeidhmíocht a chothabháil thar nochtadh fada do thimpeallachtaí próisis chrua. cuireann frithsheasmhacht in aghaidh ionsaí ceimiceacha cosc ar éilliú agus díghrádú ábhar, rud a chosnaíonn cáilíocht na sliseog atá á bhfás.
Gné shuntasach eile is ea cobhsaíocht tríthoiseach na mbád sliseog SiC. Tá siad deartha chun a gcruth agus a bhfoirm a choinneáil fiú faoi theocht ard, ag cinntiú go bhfuil na sliseog suite go cruinn le linn fás criostail. Laghdaíonn cobhsaíocht tríthoiseach aon dífhoirmiúchán nó warping ar an mbád, rud a d'fhéadfadh a bheith mar thoradh ar mhí-ailíniú nó fás neamh-éide trasna na sliseog. Tá an suíomh beacht seo ríthábhachtach chun an treoshuíomh criostalagrafach atá ag teastáil agus an aonfhoirmeacht a bhaint amach san ábhar leathsheoltóra mar thoradh air.
Cuireann báid sliseog SiC airíonna leictreacha den scoth ar fáil freisin. Is ábhar leathsheoltóra é chomhdhúile sileacain, arb é is sainairíonna é a bhearna leathan agus a voltas miondealú ard. Cinntíonn airíonna bunúsacha leictreacha SiC sceitheadh agus cur isteach leictreachais íosta le linn próisis fáis criostail. Tá sé seo tábhachtach go háirithe nuair a bhíonn feistí ardchumhachta ag fás nó ag obair le struchtúir leictreonacha íogair, toisc go gcabhraíonn sé le sláine na n-ábhar leathsheoltóra atá á dtáirgeadh a choinneáil.
Ina theannta sin, tá cáil ar bháid sliseog SiC mar gheall ar a fad saoil agus a n-ath-inúsáidteacht. Tá saolré oibríochta fada acu, agus tá siad in ann il-thimthriallta fáis criostail a sheasamh gan meath suntasach. Aistríonn an marthanacht seo go héifeachtúlacht costais agus laghdaítear an gá atá le hathsholáthar go minic. Ní hamháin go gcuireann ath-inúsáidteacht bád sliseog SiC le cleachtais déantúsaíochta inbhuanaithe ach cinntíonn sé freisin feidhmíocht chomhsheasmhach agus iontaofacht i bpróisis fáis criostail.
Mar fhocal scoir, tá báid sliseog SiC ina gcuid dhílis d'fhás criostail do mhonarú leathsheoltóra. Déanann a neart meicniúil eisceachtúil, cobhsaíocht ardteochta, seoltacht theirmeach, táimhe ceimiceach, cobhsaíocht tríthoiseach, agus airíonna leictreacha iad an-inmhianaithe chun próisis fáis criostail a éascú. Cinntíonn báid sliseog SiC dáileadh aonfhoirmeach teochta, cuireann siad cosc ar éilliú, agus cuireann siad ar chumas sliseog a shuíomh go beacht, rud a fhágann go dtáirgtear ábhair leathsheoltóra ar ardchaighdeán. De réir mar a leanann an t-éileamh ar ardfheistí leathsheoltóra ag ardú, ní féidir áibhéil a dhéanamh den tábhacht a bhaineann le báid sliseog SiC chun an fás criostail is fearr is féidir a bhaint amach.
Am poist: Apr-08-2024