Fíorú Fáis
Tá ancairbíd sileacain (SIC)ullmhaíodh síolchriostail tar éis an phróisis imlínithe agus bailíochtaíodh iad trí fhás criostail SiC. Ba é an t-ardán fáis a úsáideadh ná foirnéis fáis ionduchtaithe SiC féinfhorbartha le teocht fáis de 2200 ℃, brú fáis de 200 Pa, agus fad fáis 100 uair an chloig.
Ullmhúchán i gceist awafer SiC 6-orlachleis na aghaidheanna carbóin agus sileacain araon snasta, asliseogaonfhoirmeacht tiús ≤10 µm, agus roughness aghaidh sileacain de ≤0.3 nm. Ullmhaíodh páipéar graifíte 200 mm ar trastomhas, 500 µm tiubh chomh maith le gliú, alcól agus éadach gan lint.
Tá ansliseog SiCbrataithe le greamachán ar an dromchla nascáil ar feadh 15 soicind ag 1500 r/nóiméad.
An adhesive ar an dromchla nascáil ansliseog SiCa thriomú ar phláta te.
An páipéar graifíte agussliseog SiC(dromchla nasctha os comhair síos) cruachta ó bhun go barr agus a chur i foirnéise preas te criostail síl. Rinneadh an brú te de réir an phróisis preas te réamhshocraithe. Taispeánann Figiúr 6 an dromchla criostail síolta tar éis an phróisis fáis. Is féidir a fheiceáil go bhfuil an dromchla criostail síl réidh gan aon chomharthaí delamination, rud a léiríonn go bhfuil dea-chaighdeán agus ciseal dlúth nasctha ag na criostail síl SiC a ullmhaíodh sa staidéar seo.
Conclúid
Ag cur san áireamh na modhanna nasctha agus crochta atá ann faoi láthair maidir le fosúchán criostal síl, moladh modh nasctha agus crochta comhcheangailte. Dhírigh an staidéar seo ar ullmhú scannán carbóin agussliseog/próiseas nasctha páipéir graifíte a theastaíonn don mhodh seo, as a dtiocfaidh na conclúidí seo a leanas:
Ba cheart go mbeadh slaodacht an ghreamaithe ag teastáil don scannán carbóin ar an sliseog 100 mPa·s, le teocht carbónúcháin ≥600 ℃. Is atmaisféar cosanta argón é an timpeallacht charbónú is fearr. Má dhéantar é faoi choinníollacha folúis, ba cheart go mbeadh an chéim bhfolús ≤1 Pa.
Éilíonn na próisis charbónúcháin agus nascáil araon an charbónú agus na greamacháin nascáil ar an dromchla wafer a leigheas ar theocht íseal chun gáis a dhíbirt as an ghreamaitheach, rud a choscann lochtanna feannadh agus neamhní sa chiseal nascáil le linn an charbóinithe.
Ba cheart go mbeadh slaodacht 25 mPa·s ag an ghreamaitheach nasctha don pháipéar sliseog/graifíte, agus brú nasctha de ≥15 kN. Le linn an phróisis nasctha, ba cheart an teocht a ardú go mall sa raon teocht íseal (<120 ℃) thar thart ar 1.5 uair an chloig. Dhearbhaigh fíorú fáis criostail SiC go gcomhlíonann na criostail síolta SiC ullmhaithe na ceanglais maidir le fás criostail SiC ard-chaighdeán, le dromchlaí criostail síolta réidh agus gan aon deascán.
Am postála: Jun-11-2024