I ndéantúsaíocht leathsheoltóra, tá teicníc ar a dtugtar “eitseáil” le linn foshraith nó scannán tanaí a fhoirmítear ar an tsubstráit a phróiseáil. Bhí ról ag forbairt na teicneolaíochta eitseála i bhfíorú an tuar a rinne Gordon Moore, bunaitheoir Intel, i 1965 go “dhá oiread dlús comhtháthaithe trasraitheoirí i 1.5 go 2 bhliain” (ar a dtugtar “Dlí Moore” de ghnáth).
Ní próiseas “breiseánach” í an eitseáil amhail sil-leagan nó nascáil, ach próiseas “dealaithe”. Ina theannta sin, de réir na modhanna éagsúla scríobadh, tá sé roinnte ina dhá chatagóir, is é sin "eitseáil fliuch" agus "eitseáil tirim". Chun é a chur go simplí, is modh leá é an chéad cheann agus is modh tochailt é an dara ceann.
San Airteagal seo, míneoimid go hachomair saintréithe agus difríochtaí gach teicneolaíochta eitseála, eitseáil fliuch agus eitseáil tirim, chomh maith leis na réimsí iarratais a bhfuil gach ceann acu oiriúnach.
Forbhreathnú ar an bpróiseas eitseála
Deirtear gur tháinig an teicneolaíocht eitseála chun cinn san Eoraip i lár an 15ú haois. Ag an am sin, doirteadh aigéad isteach i pláta copair greanta chun an copar lom a chreimeadh, rud a chruthódh intaglio. “Eitseáil” a thugtar ar theicnící cóireála dromchla a bhaineann leas as éifeachtaí creimthe.
Is é cuspóir an phróisis eitseála i ndéantúsaíocht leathsheoltóra ná an tsubstráit nó an scannán a ghearradh ar an tsubstráit de réir an líníochta. Trí na céimeanna ullmhúcháin a bhaineann le foirmiú scannán, fótailiteagrafaíocht, agus eitseáil a athrá, déantar an struchtúr planar a phróiseáil i struchtúr tríthoiseach.
An difríocht idir eitseáil fliuch agus eitseáil tirim
Tar éis an phróisis photolithography, tá an tsubstráit nochta fliuch nó tirim eitseáilte i bpróiseas eitseála.
Úsáideann eitseáil fhliuch tuaslagán chun an dromchla a eitseáil agus a scrapeadh. Cé gur féidir an modh seo a phróiseáil go tapa agus go saor, is é an míbhuntáiste atá aige ná go bhfuil an cruinneas próiseála beagán níos ísle. Mar sin, rugadh eitseáil tirim thart ar 1970. Ní úsáideann eitseáil tirim réiteach, ach úsáideann sé gás chun dromchla an tsubstráit a bhuail chun é a scratáil, arb é is sainairíonna é cruinneas ardphróiseála.
“Iseatrópacht” agus “Anisotrópacht”
Nuair a thugtar isteach an difríocht idir eitseáil fhliuch agus eitseáil thirim, is iad na focail riachtanacha “isotrópacha” agus “ainisotrópacha”. Ciallaíonn iseatrópacht nach n-athraíonn airíonna fisiceacha ábhair agus spáis de réir treo, agus ciallaíonn aniseatrópacht go n-athraíonn airíonna fisiceacha ábhair agus spáis de réir treo.
Ciallaíonn eitseáil isotrópach go n-imíonn eitseáil an méid céanna timpeall pointe áirithe, agus ciallaíonn eitseáil anisotrópach go dtéann eitseáil ar aghaidh i dtreonna difriúla timpeall pointe áirithe. Mar shampla, in eitseáil le linn déantúsaíochta leathsheoltóra, is minic a roghnaítear eitseáil anisotrópach ionas nach ndéantar ach an treo sprice a scrapeadh, rud a fhágann treoracha eile slán.
Íomhánna de “Isotropic Etch” agus “Anisotropic Etch”
Eitseáil fliuch ag baint úsáide as ceimiceáin.
Úsáideann eitseáil fhliuch imoibriú ceimiceach idir ceimiceán agus foshraith. Leis an modh seo, níl sé dodhéanta eitseáil anisotrópach, ach tá sé i bhfad níos deacra ná eitseáil isotrópach. Tá go leor srianta ar an meascán de réitigh agus ábhair, agus ní mór coinníollacha cosúil le teocht an tsubstráit, tiúchan réitigh, agus méid breise a rialú go docht.
Is cuma cé chomh mín a choigeartaítear na coinníollacha, tá sé deacair próiseáil fhíneáil a bhaint amach ar eitseáil fliuch faoi bhun 1 μm. Cúis amháin leis seo ná an gá atá le taobh eitseáil a rialú.
Is feiniméan é foghearradh ar a dtugtar foghearradh freisin. Fiú má táthar ag súil go ndéanfar an t-ábhar a dhíscaoileadh ach amháin sa treo ingearach (treo doimhneacht) trí eitseáil fliuch, tá sé dodhéanta an réiteach a chosc go hiomlán ó na taobhanna a bhualadh, agus mar sin beidh an t-ábhar a dhíscaoileadh sa treo comhthreomhar ar aghaidh dosheachanta. . Mar gheall ar an bhfeiniméan seo, táirgeann eitseáil fliuch go randamach ailt atá níos cúinge ná an leithead sprice. Ar an mbealach seo, nuair a phróiseáiltear táirgí a dteastaíonn rialú reatha beacht orthu, tá an atáirgtheacht íseal agus níl an cruinneas iontaofa.
Samplaí de Theipeanna Féideartha in Eitseáil Fhliuch
Cén fáth go bhfuil eitseáil tirim oiriúnach le haghaidh micromachining
Cur síos ar an Ealaín Gaolmhar Úsáidtear eitseáil tirim atá oiriúnach le haghaidh eitseáil anisotrópach i bpróisis déantúsaíochta leathsheoltóra a éilíonn próiseáil ardchruinneas. Is minic a thugtar eitseáil ian imoibríoch (RIE) ar eitseáil thirim, rud a d’fhéadfadh eitseáil plasma agus eitseáil sputter a áireamh sa chiall leathan, ach díreoidh an t-alt seo ar RIE.
Chun a mhíniú cén fáth a bhfuil eitseáil anisotrópach níos éasca le heitseáil thirim, déanaimis breathnú níos géire ar an bpróiseas RIE. Is furasta a thuiscint tríd an bpróiseas eitseála tirim agus scríobadh den tsubstráit a roinnt ina dhá chineál: “eitseáil cheimiceach” agus “eitseáil fhisiciúil”.
Tarlaíonn eitseáil cheimiceach i dtrí chéim. Gcéad dul síos, adsorbed na gáis imoibríoch ar an dromchla. Ansin déantar táirgí imoibrithe ón ábhar gáis imoibrithe agus tsubstráit, agus ar deireadh dí-asorbed na táirgí imoibrithe. Sa eitseáil fhisiciúil ina dhiaidh sin, eitseáiltear an tsubstráit go hingearach síos trí ghás argóin a chur i bhfeidhm go hingearach ar an tsubstráit.
Tarlaíonn eitseáil cheimiceach go isotrópach, ach is féidir le heitseáil fhisiciúil tarlú go hanisotrópach trí threo feidhm an gháis a rialú. Mar gheall ar an eitseáil fhisiciúil seo, ceadaíonn eitseáil thirim níos mó smachta ar an treo eitseála ná eitseáil fliuch.
Éilíonn eitseáil thirim agus fliuch na coinníollacha dochta céanna le heitseáil fliuch, ach tá in-atáirgtheacht níos airde aige ná eitseáil fliuch agus tá go leor míreanna níos éasca le rialú aige. Dá bhrí sin, níl aon amhras ach go bhfuil eitseáil tirim níos mó a chabhródh le táirgeadh tionsclaíoch.
Cén Fáth a Bhfuil Eitseáil Fhliuch fós ag Teastáil
Nuair a thuigeann tú an t-eitsiú tirim uilechumhachtach is cosúil, b'fhéidir go n-iontas cén fáth a bhfuil eitseáil fliuch ann fós. Mar sin féin, tá an chúis simplí: déanann eitseáil fliuch an táirge níos saoire.
Is é an príomh-difríocht idir eitseáil tirim agus eitseáil fliuch ná costas. Níl na ceimiceáin a úsáidtear in eitseáil fhliuch chomh costasach sin, agus deirtear go bhfuil praghas an trealaimh féin thart ar 1/10 de phraghas an trealaimh eitseála tirim. Ina theannta sin, tá an t-am próiseála gearr agus is féidir foshraitheanna iolracha a phróiseáil ag an am céanna, ag laghdú costais táirgthe. Mar thoradh air sin, is féidir linn costais táirgí a choinneáil íseal, rud a thugann buntáiste dúinn thar ár n-iomaitheoirí. Mura bhfuil na ceanglais maidir le cruinneas próiseála ard, roghnóidh go leor cuideachtaí eitseáil fliuch le haghaidh táirgeadh mais garbh.
Tugadh isteach an próiseas eitseála mar phróiseas a bhfuil ról aige i dteicneolaíocht microfabrication. Tá an próiseas eitseála roinnte go garbh i eitseáil fliuch agus eitseáil tirim. Má tá costas tábhachtach, is fearr an chéad cheann, agus má tá gá le micreaphróiseáil faoi bhun 1 μm, is fearr an dara ceann. Go hidéalach, is féidir próiseas a roghnú bunaithe ar an táirge atá le táirgeadh agus ar an gcostas, seachas cé acu ceann is fearr.
Am poist: Apr-16-2024