Eipiteacs chomhdhúile sileacain (SiC).
Cuirtear an tráidire epitaxial, a choinníonn an tsubstráit SiC chun an slice epitaxial SiC a fhás, sa seomra imoibrithe agus déanann sé teagmháil dhíreach leis an sliseog.
Is iompróir é an chuid uachtarach leath-ghealach le haghaidh gabhálais eile den seomra imoibrithe de threalamh epitaxy Sic, cé go bhfuil an chuid leath-ghealach íochtair ceangailte leis an bhfeadán Grianchloch, ag tabhairt isteach an gháis chun an bonn súitheora a thiomáint chun rothlú. tá siad rialaithe teochta agus suiteáilte sa seomra imoibrithe gan teagmháil dhíreach leis an wafer.
Si epitaxy
Cuirtear an tráidire, a choinníonn an tsubstráit Si chun an slice epitaxial Si a fhás, sa seomra imoibrithe agus déanann sé teagmháil dhíreach leis an sliseog.
Tá an fáinne réamhthéamh suite ar fháinne seachtrach an tráidire tsubstráit Si epitaxial agus úsáidtear é le haghaidh calabrú agus téimh. Cuirtear sa seomra imoibrithe é agus ní théann sé i dteagmháil go díreach leis an wafer.
Susceptor epitaxial, a choinníonn an tsubstráit Si chun slisne epitaxial Si a fhás, a chuirtear sa seomra imoibrithe agus a dhéanann teagmháil dhíreach leis an sliseog.
Is príomhchodanna é bairille epitaxial a úsáidtear i bpróisis déantúsaíochta leathsheoltóra éagsúla, a úsáidtear go ginearálta i dtrealamh MOCVD, le cobhsaíocht theirmeach den scoth, friotaíocht ceimiceach agus friotaíocht caitheamh, an-oiriúnach le húsáid i bpróisis ardteochta. Déanann sé teagmháil leis na sliseoga.
| Airíonna fisiceacha Carbide Sileacain Athchriostalaithe | |
| Maoin | Luach Tipiciúil |
| Teocht oibre (°C) | 1600 ° C (le ocsaigin), 1700 ° C (timpeallacht laghdaithe) |
| Ábhar SiC | > 99.96% |
| Ábhar Si saor in aisce, | <0.1% |
| Dlús mórchóir | 2.60-2.70 g / cm3 |
| porosity dealraitheach | < 16% |
| Neart comhbhrúite | > 600 MPa |
| Neart lúbthachta fuar | 80-90 MPa (20°C) |
| Neart lúbthachta te | 90-100 MPa (1400°C) |
| Leathnú teirmeach @ 1500°C | 4. 70 10-6/°C |
| Seoltacht theirmeach @ 1200°C | 23 W/m•K |
| Modal leaisteacha | 240 GPa |
| Friotaíocht turraing teirmeach | Thar a bheith go maith |
| Airíonna fisiceacha de chomhdhúile sileacain sintéaraithe | |
| Maoin | Luach Tipiciúil |
| Comhdhéanamh Ceimiceach | SiC>95%, Si<5% |
| Dlús Bulc | > 3.07 g / cm³ |
| porosity dealraitheach | <0.1% |
| Modal réabtha ag 20 ℃ | 270 MPa |
| Modal réabtha ag 1200 ℃ | 290 MPa |
| Cruas ag 20 ℃ | 2400 Kg/mm² |
| Toughness briste ag 20% | 3.3 MPa · m1/2 |
| Seoltacht Teirmeach ag 1200 ℃ | 45 w/m .K |
| Leathnú teirmeach ag 20-1200 ℃ | 4.5 1 ×10 -6/ ℃ |
| Teocht uasta.working | 1400 ℃ |
| Friotaíocht turraing teirmeach ag 1200 ℃ | Maith |
| Airíonna fisiceacha bunúsacha na scannáin CVD SiC | |
| Maoin | Luach Tipiciúil |
| Struchtúr Criostail | FCC β chéim polycrystalline, go príomha (111) atá dírithe |
| Dlús | 3.21 g / cm³ |
| Cruas 2500 | （500g ualach） |
| Méid Grán | 2~10μm |
| Íonacht Cheimiceach | 99.99995% |
| Cumas Teasa | 640 J·kg-1·K-1 |
| Teocht sublimation | 2700 ℃ |
| Neart Flexural | 415 MPa RT 4-phointe |
| Modal Óg | Bend 430 Gpa 4pt, 1300 ℃ |
| Seoltacht Theirmeach | 300W·m-1·K-1 |
| Leathnú Teirmeach (CTE) | 4.5×10-6 K -1 |
Príomhghnéithe
Tá an dromchla dlúth agus saor ó phiocháin.
Ard-íonacht, ábhar neamhíonachta iomlán <20ppm, aerdhíonacht maith.
Friotaíocht teocht ard, méaduithe neart le méadú ar theocht úsáide, ag teacht ar an luach is airde ag 2750 ℃, sublimation ag 3600 ℃.
Modal leaisteacha íseal, seoltacht teirmeach ard, comhéifeacht leathnú teirmeach íseal, agus friotaíocht turraing teirmeach den scoth.
Cobhsaíocht mhaith ceimiceach, resistant d'aigéad, alcaile, salann, agus imoibrithe orgánacha, agus níl aon éifeacht aige ar mhiotail leáite, slaig, agus meáin chreimneach eile. Ní ocsaídíonn sé go mór san atmaisféar faoi bhun 400 C, agus ardaíonn an ráta ocsaídiúcháin go suntasach ag 800 ℃.
Gan aon ghás a scaoileadh ag teochtaí arda, is féidir leis folús 10-7mmHg a choinneáil ag timpeall 1800 °C.
Feidhmchlár táirge
Breogán leá le haghaidh galú sa tionscal leathsheoltóra.
Geata feadán leictreonach ardchumhachta.
Scuab a théann i dteagmháil leis an rialtóir voltais.
Monacrómatóir graifíte do X-gha agus neodrón.
Cruthanna éagsúla foshraitheanna graifíte agus sciath feadán ionsú adamhach.
Éifeacht sciath carbóin pyrolytic faoi mhicreascóp 500X, le dromchla slán agus séalaithe.
Is é sciath TaC an t-ábhar resistant teocht ard do ghlúin nua, le cobhsaíocht ardteochta níos fearr ná SiC. Mar sciath creimeadh-resistant, is féidir sciath frith-ocsaídiúcháin agus sciath chaitheamh-resistant, a úsáid sa timpeallacht os cionn 2000C, a úsáidtear go forleathan i gcodanna deireadh te aeraspáis teocht ultra-ard, na réimsí fáis criostail aonair leathsheoltóra tríú glúin.
| Airíonna fisiceacha sciath TaC | |
| Dlús | 14.3 (g/cm3) |
| Emissivity sonrach | 0.3 |
| Comhéifeacht leathnú teirmeach | 6.3 10/K |
| Cruas (HK) | 2000 HK |
| Friotaíocht | 1 × 10-5 Ohm * cm |
| Cobhsaíocht theirmeach | <2500 ℃ |
| Athraíonn méid graifíte | -10~-20um |
| Tiús sciath | ≥220um luach tipiciúil (35um ±10um) |
Aithnítear páirteanna soladach CARBIDE SILICON CVD mar phríomhrogha le haghaidh fáinní agus bunanna RTP/EPI agus páirteanna cuas eitse plasma a oibríonn ag teochtaí oibriúcháin a theastaíonn ón gcóras ard (> 1500 ° C), tá na ceanglais maidir le íonacht ard go háirithe (> 99.9995%) agus tá an fheidhmíocht go háirithe go maith nuair a bhíonn na ceimiceáin friotaíochta go háirithe ard. Níl céimeanna tánaisteacha ag imeall na gránach sna hábhair seo, agus mar sin táirgeann comhpháirteanna na haile níos lú cáithníní ná ábhair eile. Ina theannta sin, is féidir na comhpháirteanna seo a ghlanadh ag baint úsáide as HF/HCI te gan mórán díghrádaithe, rud a fhágann go mbeidh níos lú cáithníní agus saol seirbhíse níos faide ann.
